[发明专利]非绝缘型功率模块及其封装工艺有效
申请号: | 201210052588.6 | 申请日: | 2012-02-22 |
公开(公告)号: | CN103295920A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 郑军;周锦源;贺东晓;王涛 | 申请(专利权)人: | 江苏宏微科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H01L25/16;H01L23/34;H01L23/28 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李家麟;王忠忠 |
地址: | 213022 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 绝缘 功率 模块 及其 封装 工艺 | ||
1.一种非绝缘型功率模块200的封装工艺,它包含:
步骤(1),即定位步骤:将功率模块芯片220安装到铜基板210的指定位置处;
步骤(2),即第一焊接步骤:将所述功率模块芯片220与所述铜基板210焊接在一起;
步骤(3),即密封步骤:将焊接有所述功率模块芯片220的所述铜基板210与外壳280安装在一起,并采用密封胶270进行密封以形成密封结构;以及
步骤(4),即固化步骤:采用环氧树脂290,封装由所述密封步骤形成的所述密封结构,从而形成所述非绝缘型功率模块200。
2.如权利要求1所述的非绝缘型功率模块200的封装工艺,其特征在于,所述步骤(2)是在真空状态下进行的。
3.如权利要求1或2所述的非绝缘型功率模块200的封装工艺,其特征在于,在完成步骤(2)之后且在开始步骤(3)之前还可以包括第二焊接步骤:在所述功率模块芯片220上,将门极电极230焊接到所述功率模块芯片230上,并且使所述门极电极230从所述环氧树脂290中裸露出来。
4.如权利要求3所述的非绝缘型功率模块200的封装工艺,其特征在于,在完成步骤(4)之后,还包含外观处理步骤:将所述外壳280上从所述环氧树脂290中裸露出的门极电极230打弯成型。
5.如权利要求1所述的非绝缘型功率模块200的封装工艺,其特征在于,所述功率模块是晶闸管模块、二极管模块、IGBT模块或MOSFET模块。
6.一种非绝缘型功率模块200,它包含:
铜基板210;
位于所述铜基板210指定位置处的功率模块芯片220;
从所述功率模块芯片220引出的门极电极230;以及
外壳280,用于罩盖所述铜基板210、门极电极230和所述功率模块芯片220;
其中,所述功率模块芯片220直接焊接在所述铜基板210上,所述门极电极230焊接在所述功率模块芯片220上。
7.如权利要求6所述的非绝缘型功率模块200,其特征在于,
其中,所述功率模块芯片220、所述门极电极230、所述铜基板210以及所述外壳280采用硅凝胶270密封,在所述硅凝胶270上采用环氧树脂290固化封装,以形成密封结构。
8.如权利要求7所述的非绝缘型功率模块200,其特征在于,所述门极电极230从所述环氧树脂290中引出。
9.如权利要求8所述的非绝缘型功率模块200,其特征在于,所述门极电极230被打弯成型。
10.如权利要求6至8中任一权利要求所述的非绝缘型功率模块200,其特征在于,所述非绝缘型功率模块200中的芯片220之间采用铝丝键合在起来。
11.如权利要求6所述的非绝缘型功率模块200,其特征在于,所述铜基板的厚度为3毫米。
12.如权利要求6所述的非绝缘型功率模块,其特征在于,所述功率模块是晶闸管模块、二极管模块、IGBT模块或MOSFET模块。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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