[发明专利]2T纳米晶存储器阵列及其操作方法有效
申请号: | 201210048730.X | 申请日: | 2012-02-28 |
公开(公告)号: | CN103295633A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 王琴;杨潇楠;王永;张满红;霍宗亮;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G11C16/06 | 分类号: | G11C16/06;H01L27/115 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 存储器 阵列 及其 操作方法 | ||
1.一种2T纳米晶存储器阵列,包括多个2T纳米晶存储器、源线、多个衬底、多条位线和多条字线,其中所述多条位线平行排列,所述多条字线平行排列,且所述多条位线与所述多条字线垂直排列,其特征在于:
所述每个2T纳米晶存储器均包括存储单元和选择晶体管,所述存储单元采用纳米晶作为存储介质。
2.如权利要求1所述的2T纳米晶存储器阵列,其特征在于:整个存储器阵列的多个衬底连接在一起,整个存储器阵列的多条位线也连接在一起。
3.如权利要求1所述的2T纳米晶存储器阵列,其特征在于:还包括与所述多条字线平行排列的多条选择晶体管字线,用于选中所要进行操作的所述存储单元。
4.如权利要求1所述的2T纳米晶存储器阵列,其特征在于:还包括与所述多条字线平行排列的多条中间线,用于连接相邻的两个选择晶体管。
5.一种2T纳米晶存储器阵列的数据写入方法,其特征在于,所述2T纳米晶存储器阵列包括源线、多个衬底、多条位线、多条字线,多条选择晶体管字线和多条中间线,
所述多条位线、多条选择晶体管字线和多条中间线均平行排列,且相互之间平行排列;
所述多条字线也平行排列,且与所述多条字线垂直排列;
整个存储器阵列的多个衬底连接在一起,整个存储器阵列的多条位线也连接在一起;
所述数据写入方法包括如下步骤:
在衬底上施加0V电压;
对于选中单元的位线,施加0V电压;
对于未选中的位线,施加第一写入电压;
对于选中单元的字线,施加第二写入电压;
对于未选中的字线,施加0V电压;
对于选中单元的中间线,施加第三写入电压;
对于未选中的中间线,施加第四写入电压;
所有的源线浮空;
对于所有的选择晶体管字线,施加0V电压。
6.如权利要求5所述的数据写入方法,其特征在于:
所述第一写入电压为7V,第二写入电压为9V。
7.如权利要求5所述的数据写入方法,其特征在于:
所述第三写入电压为7V,第四写入电压为4V。
8.一种2T纳米晶存储器阵列的数据写入方法,其特征在于,所述2T纳米晶存储器阵列包括源线、多个衬底、多条位线、多条字线,多条选择晶体管字线和多条中间线,
所述多条位线、多条选择晶体管字线和多条中间线均平行排列,且相互之间平行排列;
所述多条字线也平行排列,且与所述多条字线垂直排列;
整个存储器阵列的多个衬底连接在一起,整个存储器阵列的多条位线也连接在一起;
所述数据写入方法包括如下步骤:
在衬底上施加0V电压;
对于选中单元的位线,施加0V电压;
对于未选中的位线,施加第五写入电压;
对于选中单元的字线,施加第六写入电压;
对于未选中的字线,施加0V电压;
所有的源线浮空;
所有的中间线浮空;
对于所有的选择晶体管字线,施加0V电压。
9.一种2T纳米晶存储器阵列的数据擦除方法,其特征在于,所述2T纳米晶存储器阵列包括源线、多个衬底、多条位线、多条字线,多条选择晶体管字线和多条中间线,
所述多条位线、多条选择晶体管字线和多条中间线均平行排列,且相互之间平行排列;
所述多条字线也平行排列,且与所述多条字线垂直排列;
整个存储器阵列的多个衬底连接在一起,整个存储器阵列的多条位线也连接在一起;
所述数据擦除方法包括如下步骤:
在衬底上施加0V电压;
对于所有位线,施加0V电压;
对于选中单元的字线,施加第一擦除电压;
对于未选中的字线,施加0V电压;
所有的源线浮空;
对于所有的中间线,施加0V电压;
对于所有的选择晶体管字线,施加0V电压。
10.一种2T纳米晶存储器阵列的数据读取方法,其特征在于,所述2T纳米晶存储器阵列包括源线、多个衬底、多条位线、多条字线,多条选择晶体管字线和多条中间线,
所述多条位线、多条选择晶体管字线和多条中间线均平行排列,且相互之间平行排列;
所述多条字线也平行排列,且与所述多条字线垂直排列;
整个存储器阵列的多个衬底连接在一起,整个存储器阵列的多条位线也连接在一起;
所述数据读取方法包括如下步骤:
在衬底上施加0V电压;
对于选中单元的位线,施加第一读取电压;
对于未选中的位线,施加0V电压;
对于选中单元的字线,施加第二读取电压;
对于未选中的字线,施加0V电压;
对于选中单元的选择晶体管字线,施加第三读取电压;
对于未选中的选择晶体管字线,施加0V电压;
对于所有的源线施加0V电压;
所有的中间线浮空。
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