[发明专利]光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统

说明书

所属技术领域

本发明属于自动化机电领域，具体涉及实验光伏玻璃溅镀设备人机界面自动排气系统。

背景技术

现有PVD等离子体物理气象沈积设备是借助在靶极上通入高电压直流、交流或射频电源来离子化工作气体（通常为氩气等惰性气体），以产生等离子体，等离子体受电场影响使负离子轰击靶面，靶原子或分子获得动能向一定方向飞溅，并沈积薄膜于对向的基片上。于人机接口上通常无一自动程序可完成排气作业，而使人员需自行判断压力值以关闭相对应阀门及帮浦，在作业上极易发生错误，而导致设备损坏或影响实验进行，浪费人力及无法节约实验成本。

发明内容

综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统，通过人机介面设置相对应按键以启动自动排气系统，并透过继电器电路来关闭帮浦，再利用压力传感器回馈信号至PLC以判断是否与设定值相同及是否需要结束程序或继续执行。综上所述本发明利用现有机制搭配自行撰写的程控达到节约成本的效果、制作方便。

附图说明

图1系为本发明流程图。

图2系为本发明方块图。

具体实施方式

    下面结合附图对本发明做进一步说明。

请参阅图1所示，光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统，如图1所示：自动排气系统启动后，开启相对应阀门，关闭分子帮浦，压力传感器侦测实际压力值是否与设定值相同以决定是否开启主阀，主阀关闭并关闭分子帮浦，同时压力传感器持续侦测以决定是否可结束排气程序程序。请参阅图2所示，光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统，如图2所示：经由人机接口下指令，PLC启动相对应的继电器电路以启动相对应的帮浦进行不同阶段的排气动作，之后再由压力传感器进行不同阶段的压力侦测以决定是否进行下一级排气动作或结束程序。综上所述，动作皆在幕后执行，使用者无需自行判断何时需关闭不同的帮浦，只需要设定不同阶段帮浦关闭的压力设定值即可，达到自动排气的目的，无需人员操作。

        以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权利要求范围之内。