[发明专利]光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统无效
| 申请号： | 201210043764.X | 申请日： | 2012-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103290368A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 设备 人机 介面 自动 排气 系统 | ||
【权利要求书】：
1.光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统，其特徵在于通过继电器电路及压力传感器回授信号，来做为启动或关闭阀门及帮浦的动作，以完成自动排气功能。
2.根据权利要求1所述之光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统，其特徵在于压力侦测为分子帮浦转速低于200转。
3.根据权利要求1所述之光伏玻璃溅镀设备人机介面自动排气系统，其特徵在于结束动作的压力侦测为760拖尔。
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