[发明专利]压电元件以及压电元件的制造方法

权利要求书

1.一种压电元件，为具有通过施加电压而发生振动的振动部的压电元件，所述压电元件的特征在于包括：

矩形的第一板，构成收纳着所述振动部的封装体的一部分，且所述第一板具有一对直线状的第一边、及与所述第一边垂直的一对直线状的第二边；以及

矩形的第二板，接合于所述第一板，且所述第二板构成收纳着所述振动部的封装体的一部分，

其中，在所述一对第一边上形成有从外周凹陷而成的一对城堡形部分，所述一对城堡形部分是分别配置于两个区域，所述两个区域是被通过所述第一板的中心、且与所述第二边呈平行的直线所分开。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述第一板包括基底部，所述基底部安装有所述压电元件、且载置有所述振动部，

所述第二板包括盖部，所述盖部接合于所述基底部、且将所述振动部予以密封。

3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，

所述第二板包括压电框架，所述压电框架具有所述振动部与框体，所述框体将所述振动部予以包围且构成所述封装体的一部分，

所述第一板包括接合于所述压电框架的所述框体的一个面的基底部，且

所述压电元件还包括：

盖部，所述盖部接合于所述压电框架的所述框体的另一面，且构成将所述振动部予以密封的所述封装体的一部分。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的压电元件，其特征在于，

借由粘接剂来将所述第一板与所述第二板予以接合，

所述粘接剂是在350℃～410℃时熔融的玻璃材料。

5.一种压电元件的制造方法，为具有通过施加电压而发生振动的振动部的压电元件的制造方法，所述压电元件的制造方法的特征在于包括：

准备第一晶圆的步骤，所述第一晶圆具有多个矩形的第一板，所述多个矩形的第一板构成收纳着所述振动部的封装体的一部分，且所述第一板包含一对第一边、及与所述第一边垂直的一对第二边；

形成贯通孔的步骤，在所述一对第一边上，从所述第一边和所述第二边的交点到所述第一边的中央之间，形成将所述第一晶圆予以贯通的贯通孔；

准备第二晶圆的步骤，所述第二晶圆具有多个矩形的第二板，所述第二板构成收纳着所述振动部的封装体的一部分；

第一接合步骤，借由粘接剂来将所述第一晶圆与所述第二晶圆予以接合；

第一切断步骤，在所述第一接合步骤之后，沿着所述第一边将已接合的所述第一晶圆及所述第二晶圆予以切断；以及

第二切断步骤，在所述第一切断步骤之后，沿着所述第二边将已接合的所述第一晶圆及所述第二晶圆予以切断。

6.根据权利要求5所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

所述第一晶圆包括基底晶圆，所述基底晶圆具有载置着所述振动部的多个基底部，

所述第二晶圆包括盖晶圆，所述盖晶圆具有多个盖部，所述多个盖部接合于所述基底晶圆，且构成将所述振动部予以密封的所述封装体。

7.根据权利要求5所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

所述第二晶圆包括压电晶圆，所述压电晶圆具有多个压电框架，所述压电框架具有所述振动部与框体，所述框体将所述振动部予以包围且构成所述封装体的一部分，

所述第一晶圆包括基底晶圆，所述基底晶圆接合于所述压电晶圆的一面、且所述基底晶圆具有多个基底部，

其中，所述压电元件的制造方法还包括：

准备盖晶圆的步骤，所述盖晶圆具有多个盖部，所述盖部将所述框体以及所述基底部与所述振动部予以密封、而构成所述封装体；以及

第二接合步骤，在所述第一切断步骤之前，借由所述粘接剂来将所述盖晶圆接合于所述压电晶圆的另一面。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

在准备所述第一晶圆的步骤中，所述第一边的长度形成得比所述第二边的长度更短。

9.根据权利要求5至7中任一项所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

在所述第一切断步骤中，将所述贯通孔一分为二。

10.根据权利要求8所述的压电元件的制造方法，其特征在于，

在所述第一切断步骤中，将所述贯通孔一分为二。