[发明专利]一种酸性蚀刻液的处理方法

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液的处理方法，包括：

(1)用酸性混合溶液对硅片进行蚀刻处理，将蚀刻处理后的混合溶液稀释，对混合溶液中的氢氟酸和/或醋酸通过非水中和滴定法进行定量分析，对混合溶液中的硝酸通过硝酸根电极进行定量分析，得到蚀刻后混合溶液的组成浓度增减量；

(2)根据上述增减量，在蚀刻过程中或在循环液中添加浓度减少的酸，重新作为硅片的处理液即可。

2.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻液的处理方法，其特征在于：所述步骤(1)中的非水中和滴定法采用的装置为测量电位滴定仪，采用的非水溶剂为苯、二恶烷、丙酮、乙腈、烃、氯仿、氯苯、甲基异丁基酮、醚、氯化亚砜或硝基甲烷，采用的标准滴定溶液为0.1mol/L氢氧化钠的乙醇溶液。

3.根据权利要求2所述的一种酸性蚀刻液的处理方法，其特征在于：所述非水溶剂为丙酮。

4.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻液的处理方法，其特征在于：所述步骤(1)中的酸性混合溶液的组成为硝酸、氢氟酸和醋酸，蚀刻处理前的混合溶液中含30～60wt％的硝酸、2～20wt％的氢氟酸和10～30wt％的醋酸，其余为水。

5.根据权利要求4所述的一种酸性蚀刻液的处理方法，其特征在于：所述蚀刻处理前的混合溶液中含35～45wt％的硝酸、2～15wt％的氢氟酸和15～25wt％的醋酸，其余为水。

6.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻液的处理方法，其特征在于：所述步骤(1)中的酸性混合溶液还含有硫酸或磷酸时，通过Dry-up法进行定量分析。

7.根据权利要求1所述的一种酸性蚀刻液的处理方法，其特征在于：所述步骤(2)中酸的添加量用蚀刻处理前的标准值与蚀刻处理后的测量值间的差值乘以混合溶液的用量求得。