[发明专利]一种提高光学质量的光学探头

权利要求书

1.一种提高光学质量的光学探头，包括连接件、探头基座、柔性电路板、光学组件、MEMS微镜、探头端盖和窗片，其特征在于：所述光学组件包括传输光纤、毛细玻璃管、玻璃管外壳和透镜；传输光纤套入毛细玻璃管内，再与透镜一起套入玻璃管外壳中形成光学组件；所述光纤端面和透镜两端的端面三个光学端面涂履增透膜或者进行端面倒角。

2.根据权利要求1所述的一种提高光学质量的光学探头，其特征在于：所述探头基座左端为T形槽孔，T形槽狭窄处用于安装光学组件，较宽槽则方便柔性电路板的伸出；探头基座右侧为一个异形孔，探头端盖插入与之配合；探头基座内孔各表面均涂履能够吸收红外光的材料；探头端盖左侧具有斜坡槽，用于安放柔性电路板，柔性电路板焊盘区粘结有MEMS微镜；与MEMS微镜正对的探头基座上开有窗口，窗口安装有窗片，所述窗片双面涂履增透膜，或者窗片采用透红外材料加工制作。

3.根据权利要求1所述的一种提高光学质量的光学探头，其特征在于：光学组件中的各个光学界面均采用涂履增透膜，光学组件安放于探头基座槽孔中间位置，经光学组件出射的聚焦光束平行探头基座轴线且与MEMS微镜镜面成95度-175度射向MEMS微镜。

4.根据权利要求1所述的一种提高光学质量的光学探头，其特征在于：光学组件中的光纤部件和透镜靠光纤部件端面采用涂履增透膜或者端面倒角，而透镜靠MEMS微镜侧端面采用端面倒角，出射光偏下，光学组件安放于探头基座槽孔偏上位置，经光学组件出射的聚焦光束斜向下且与MEMS微镜成95度-175度射向MEMS微镜。

5.根据权利要求1所述的一种提高光学质量的光学探头，其特征在于：光学组件外端面倒角出射光偏上，光学组件安放于探头基座槽孔偏下位置，经光学组件出射的聚焦光束斜向上且与MEMS微镜镜面成95度-175度射向MEMS微镜。

6.根据权利要求1所述的一种提高光学质量的光学探头，其特征在于：光学组件外端面倒角出射光偏左或偏右，经光学组件出射的聚焦光束与MEMS微镜镜面成95度-175度射向MEMS微镜。

7.根据权利要求1或2所述的一种提高光学质量的光学探头，其特征在于：探头端盖与探头基座的周向定位配合方式是D形横截面实现配合、弹片/弹片夹配合、销钉或者螺钉配合、键/键槽配合中的任一种方式。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的一种提高光学质量的光学探头，其特征在于：所述MEMS微镜包括顶层透光盖片、微镜镜面、微镜四周框架和底层基底；所述MEMS微镜中的顶层透光盖片双面涂履光学增透膜，微镜四周框架上表面涂履能够吸收红外光的材料。