[发明专利]一种固晶机有效

专利信息
申请号: 201210038060.3 申请日: 2012-02-20
公开(公告)号: CN102543801A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 王敕;杨宁 申请(专利权)人: 常熟艾科瑞思封装自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 常熟市常新专利商标事务所 32113 代理人: 朱伟军
地址: 215513 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 固晶机
【权利要求书】:

1.一种固晶机,其特征在于包括一支撑平台(1),在该支撑平台(1)的中央位置设有一具有顶针头(111)的顶针机构(11);第一、第二固晶运动机构(2、3),第一固晶运动机构(2)设在支撑平台(1)的左侧,而第二固晶运动机构(3)设在支撑平台(1)的右侧并且与第一固晶运动机构(2)相对应;一支撑立座(4),该支撑立座(4)固定在支撑平台(1)的后侧,并且以腾空状态对应于第一、第二固晶运动机构(2、3)的上方;一具有在所述顶针机构(11)与第一固晶运动机构(2)之间运动的第一固晶摆臂(51)的第一固晶邦头(5)和一具有在顶针机构(11)与第二固晶运动机构(3)之间运动的第二固晶摆臂(61)的第二固晶邦头(6),第一、第二固晶邦头(5、6)均设置在所述的支撑立座(4)上,并且位于支撑立座(4)的长度方向的中部;设置在所述支撑立座(4)上的用于对置于所述第一固晶运动机构(2)上的载具上的固晶对象进行点胶的第一点胶模块(7a)和用于对置于所述第二固晶运动机构(3)上的载具上的固晶对象进行点胶的第二点胶模块(4b),其中,第一点胶模块(7a)位于支撑立座(4)的左端,并且与第一固晶运动机构(2)的上方相对应,而第二点胶模块(7b)位于支撑立座(4)的右端,并且与第二固晶运动机构(3)的上方相对应;设置在所述支撑立座(4)上的第一、第二相机模块(8a、8b)和第三相机模块(8c),其中,第二相机模块(8b)位于第一、第三相机模块(8a、8c)之间,并且第一相机模块(8a)伴随于所述的第一点胶模块(7a),第三相机模块(8c)伴随于所述的第二点胶模块(7b),而第二相机模块(8b)与所述的顶针头(111)相对应;一与所述的顶针机构(11)相配合的用于提供晶圆的取晶运动机构(9),该取晶运动机构(9)设在所述支撑平台(1)的前侧,位于所述第一、第二固晶运动机构(2、3)之间,并且与所述支撑立座(4)相对应。

2.根据权利要求1所述的固晶机,其特征在于所述的顶针(111)是上下垂直运动的。

3.根据权利要求1所述的固晶机,其特征在于设置在所述支撑平台(1)的左侧的所述第一固晶运动机构(2)的结构是与设置在支撑平台(1)的右侧的所述的第二固晶运动机构(3)的结构相同的,并且均可作X方向和Y方向的两坐标直线运动。

4.根据权利要求3所述的固晶机,其特征在于所述的第二固晶运动机构(3)包括一对彼此并行的第一导轨座(31)、第一、第二电机(32a、32b)、第一、第二螺杆座(33a、33b)、第一、第二螺杆(34a、34b),第一载具移动装置(35)和第二载具移动装置(36),一对第一导轨座(31)固定在所述支撑平台(1)的右侧,各第一导轨座(31)的长度方向的上部固设有一第一导轨(311),第一电机(32a)固定在支撑平台(1)上,并且对应于所述的一对第一导轨座(31)的一端,第二电机(32b)同样固定在支撑平台(1)上,并且对应于一对第一导轨座(31)的另一端,第一螺杆固定座(33a)固定在一对第一导轨座(31)之间并且位于一对第一导轨座(31)的一端,第二螺杆座(33b)同样固定在一对第一导轨座(31)之间,并且位于一对第一导轨座(31)的另一端,与第一螺杆座(33a)相对应,第一、第二螺杆(34a、34b)彼此并行,并且转动地支承在第一、第二螺杆座(33a、33b)之间,其中,第一螺杆(34a)与所述的第一电机(32a)传动连接,而第二螺杆(34b)与所述的第二电机(32b)传动连接,第一载具移动装置(35)和第二载具移动装置(36)滑动配设在所述的一对第一导轨(311)上,其中:第一载具移动装置(35)与所述第一螺杆(34a)传动配合,而第二载具移动装置(36)与所述第二螺杆(34b)传动配合。

5.根据权利要求4所述的固晶机,其特征在于所述的第一、第二电机(32a、32b)均为正反转电机。

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