[发明专利]薄膜晶体管及其制作方法及显示器

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜晶体管，且特别是有关于一种底栅极薄膜晶体管。

背景技术

随着显示科技的日益进步，人们借着显示器的辅助可使生活更加便利，为求显示器轻、薄的特性，促使平面显示器(flat panel display，FPD)成为目前的主流。在诸多平面显示器中，液晶显示器(liquid crystal display，LCD)具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等优越特性，因此，液晶显示器深受消费者欢迎。

液晶显示器主要是由主动阵列基板、彩色滤光基板与位于两基板之间的液晶层所构成。主动阵列基板具有主动区以及周边电路区。主动阵列位于主动区内，而具有多个底栅极薄膜晶体管的驱动电路则位于周边电路区内。

在现有技术中，底栅极薄膜晶体管的工艺会遭遇到一些问题，例如在形成源极与漏极时，容易损伤位于其下的主动层，以致于背通道受损。

发明内容

本发明一实施例提供一种薄膜晶体管的制作方法包括：提供一基板；在基板上形成一栅极；在基板上形成一栅绝缘层覆盖栅极；在栅绝缘层上形成一主动层，其中主动层位于栅极上方；在主动层上形成一导电层，导电层包括一源极、一漏极以及一位于源极与漏极之间的分隔部；在导电层上形成一第一光阻层，第一光阻层覆盖源极与漏极，并暴露出分隔部；使分隔部氧化而形成一绝缘金属氧化物层，以电性隔离源极与漏极；以及移除第一光阻层。

本发明另一实施例提供一种薄膜晶体管包括：一基板；一栅极，配置于基板上；一栅绝缘层，配置于基板上并覆盖栅极；一主动层，配置于栅绝缘层上并位于栅极上方；一源极与一漏极，配置于主动层上且位于栅极的相对两侧，其中源极与漏极以一沟槽分隔；以及一绝缘金属氧化物层，配置于主动层上，并填入沟槽中，且源极与漏极包括绝缘金属氧化物层所对应的金属。

本发明一实施例提供一种显示器，包括：一薄膜晶体管基板，设有多个前述实施例的薄膜晶体管；一基板，与薄膜晶体管基板相对设置；以及一显示介质，形成于薄膜晶体管基板与基板之间。

本发明通过在刻蚀(连接源极与漏极的)分隔部时保留分隔部，然后再氧化分隔部的方式电性隔离源极与漏极，以避免刻蚀工艺损害分隔部下的主动层。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明的限定。在附图中：

图1A至图1H绘示本发明一实施例的薄膜晶体管的工艺剖面图。

图2绘示本发明另一实施例的薄膜晶体管的工艺剖面图。

图3A至图3F绘示本发明一实施例的薄膜晶体管的工艺剖面图。

图4绘示本发明另一实施例的薄膜晶体管的工艺剖面图。

图5绘示本发明一实施例的显示器的剖面图。

附图标号：

100～薄膜晶体管；

110～基板；

120～栅极；

130～栅绝缘层；

140～主动层；

150～导电材料层；

150a～导电层；

152～源极；

154～漏极；

156～分隔部；

156a～薄分隔部；

160、160a～氧化硅层；

170～含氧光阻材料层；

170a～含氧光阻盖层；

170b～含氧光阻层；

172～沟槽；

180～绝缘金属氧化物层；

190～绝缘保护层；

192～开口；

310～光阻层；

500～显示器；

510～薄膜晶体管基板；

520～基板；

530～显示介质；

A1～不透光区；

A2～半透光区；

A3～全透光区；

C～导电层；

M～半调式掩膜；

T1、T2、T3～厚度。

具体实施方式