[发明专利]一种化学溶液法制备Er2O3阻氚涂层的方法无效
| 申请号： | 201210032769.2 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102618871A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 丁发柱;古宏伟;张腾;屈飞;戴少涛;邱清泉;蔡渊;贺昱旻 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所;苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 溶液 法制 er sub 涂层 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学溶液法制备Er2O3阻氚涂层的方法，其特征在于，所述的制备方法包括如下步骤：
(1)把乙醇和松油醇按照20∶1-10∶1的体积比例混合；
(2)将上述步骤(1)配制的溶液在室温条件下经磁力搅拌器搅拌1-3h；
(3)在上述步骤(2)制得的溶液中添加硝酸铒，制成金属Er离子浓度为0.5-1.0mol/L的溶液；
(4)将上述步骤(3)配制的溶液在80-90℃下经磁力搅拌器搅拌4-8h，得到硝酸铒凝胶；
(5)将步骤(4)制得的所述硝酸铒凝胶采用旋涂或提拉方法涂覆在基片上；
(6)将步骤(5)涂覆过薄膜的基片置于高温管式石英炉中，在600℃-800℃温度下进行3-5h的低温热处理，即可得到Er2O3阻氚涂层；该步骤的升温速率为5℃/h；该步骤在氩气或者氮气气氛中进行。
2.如权利要求1所述的一种化学溶液法制备Er2O3阻氚涂层的方法，其特征在于，所述的步骤(5)中所述基片的材质为不锈钢。
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