[发明专利]制造无源矩阵有机电致发光器件的方法、该器件及其设备无效
申请号: | 201210029161.4 | 申请日: | 2012-02-09 |
公开(公告)号: | CN102593379A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 邱勇;辛小刚;高裕弟 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 杨勇;郑建晖 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 无源 矩阵 有机 电致发光 器件 方法 及其 设备 | ||
技术领域
本发明总体涉及无源矩阵有机电致发光器件(PMOLED,Passive Matrix Organic Electroluminescent Device)领域,更具体地,涉及利用隔离柱的制造PMOLED的方法、利用该方法制造的PMOLED及包括该PMOLED的显示设备。
背景技术
典型的有机电致发光器件(OLED,Organic Electroluminescent Device)通常包括:基板、在基板上形成的第一显示电极层、在第一显示电极层上形成的功能层以及在功能层上形成的第二显示电极层。功能层由合适的有机电致发光(EL)介质构成。第一显示电极层包括相互分隔开的多个第一显示电极,第二显示电极层包括相互分隔开的多个第二显示电极。通过在OLED的第一显示电极和第二显示电极之间施加电压,利用有机EL介质的电致发光效应,使OLED发光。
近些年,采用隔离柱技术制造PMOLED的方案已被提出并得到广泛应用。图1示意性示出了利用这样的方案形成的示例性PMOLED的结构。图1中所示的PMOLED可通过以下过程形成。首先,在基板1上形成一组相互平行并相互间隔开的、条状的第一显示电极(也称为“阳极”)2。然后,在形成有第一显示电极2的基板1上形成与所述第一显示电极垂直的一组相互平行并相互间隔开的条状的隔离柱4,如图1中所示,每个隔离柱4具有呈倒梯形形状的横截面。之后,在形成有隔离柱4的基板1上依次沉积功能层5和第二显示电极层6。在该沉积步骤中,由于阴影效应,在隔离柱4的侧面上并不形成连续的沉积材料,由此,第二显示电极层6由隔离柱有效地分隔成一组相互不连接的条状的第二显示电极(也称为“阴极”),功能层5亦如此。
在PMOLED领域,多种形成具有呈倒梯形形状的横截面的隔离柱——如图1中所示的隔离柱4——的方法是已知的。例如,美国专利US 5,701,055和公告号为CN 100372146C的中国专利中均记载了这方面的内容,这些专利的内容在此通过引用的方式被全部纳入本文。
根据上文的描述清楚的是,在采用隔离柱技术制作PMOLED的情况下,隔离柱可以起到阻隔的作用,使一次沉积到基板上的例如第二显示电极材料自动形成相互不连接的多个第二显示电极。另外,在对其上形成有第一、第二显示电极及位于其间的功能层的基板进行封装时,隔离柱可起到支撑的作用,例如可防止封装片或干燥片对功能层产生影响。为使隔离柱有效地起到上述作用,隔离柱本身的设计非常关键。
发明内容
本发明旨在提供利用隔离柱的制造PMOLED的优化方法以及利用该方法制造的PMOLED和包括该PMOLED的显示设备。
根据本发明的第一方面,提供一种利用隔离柱的制造PMOLED的方法,该方法包括:
在基板上形成相互平行并相互间隔开的一组第一显示电极;
在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组单层隔离柱,所述一组单层隔离柱相互平行并相互间隔开,且垂直于所述一组第一显示电极,每个所述单层隔离柱在平行于所述一组第一显示电极的方向上具有呈倒梯形形状的横截面;以及
在形成有所述一组第一显示电极和一组单层隔离柱的基板上依次沉积功能层和第二显示电极层,
其中所述横截面的每个侧边与所述基板成45度-70度的角。
根据本发明的第二方面,提供一种利用隔离柱的制造PMOLED的方法,该方法包括:
在基板上形成相互平行并相互间隔开的一组第一显示电极;
在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组各具有上层和下层的双层隔离柱,所述一组双层隔离柱相互平行并相互间隔开,且垂直于所述一组第一显示电极,每个所述双层隔离柱的上层在平行于所述一组第一显示电极的方向上具有呈倒梯形形状的横截面;以及
在形成有所述一组第一显示电极和一组双层隔离柱的基板上依次沉积功能层和第二显示电极层,
其中所述横截面的每个侧边与所述基板成45度-70度的角。
根据本发明的第三方面,提供一种根据本发明第一方面或第二方面的方法制造的PMOLED。
根据本发明的第四方面,提供一种有机电致发光显示设备,该显示设备包括根据本发明第三方面的PMOLED。
利用根据本发明的方法,可容易地使隔离柱成型。另外,根据本发明的隔离柱可起到良好的对第二显示电极进行分隔的作用,且不易倒塌,可有效防止第二显示电极与第一显示电极短路或邻近的第二显示电极相连(即,行连)。
附图说明
通过下文结合附图的详细描述,将更好地理解本发明。在附图中:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择