[发明专利]制造无源矩阵有机电致发光器件的方法、该器件及其设备

权利要求书

1.一种利用隔离柱的制造无源矩阵有机电致发光器件的方法，包括：

在基板上形成相互平行并相互间隔开的一组第一显示电极；

在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组单层隔离柱，所述一组单层隔离柱相互平行并相互间隔开，且垂直于所述一组第一显示电极，每个所述单层隔离柱在平行于所述一组第一显示电极的方向上具有呈倒梯形形状的横截面；以及

在形成有所述一组第一显示电极和一组单层隔离柱的基板上依次沉积功能层和第二显示电极层，

其中所述横截面的每个侧边与所述基板成45度-70度的角。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组单层隔离柱包括：

在形成有所述一组第一显示电极的基板上涂覆预定厚度的隔离柱胶；

预烘烤所述隔离柱胶；

对所述隔离柱胶曝光，其中具有预定图案的掩模被布置于所述隔离柱胶之上；以及

对曝光后的隔离柱胶显影，以形成所述一组单层隔离柱。

3.权利要求2所述的方法，其中，在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组单层隔离柱还包括：

固烤所述一组单层隔离柱。

4.权利要求2所述的方法，其中，在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组单层隔离柱还包括：

在涂覆所述隔离柱胶之前，清洗形成有所述一组第一显示电极的基板。

5.权利要求2所述的方法，其中，所述隔离柱胶是负型隔离柱胶，所述掩模的图案及被布置的方式使得与所述一组单层隔离柱对应的隔离柱胶被暴露，其余隔离柱胶被掩模覆盖，并且在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组单层隔离柱还包括：

在对曝光后的隔离柱胶显影之前，以从低温到高温的顺序在多个不同温度下烘烤曝光后的隔离柱胶。

6.权利要求2所述的方法，其中，所述隔离柱胶是正型隔离柱胶，所述掩模的图案及被布置的方式使得与所述一组单层隔离柱对应的隔离柱胶被掩模覆盖，其余隔离柱胶被暴露。

7.权利要求2所述的方法，其中，所述预定厚度为3.7微米。

8.一种利用隔离柱的制造无源矩阵有机电致发光器件的方法，包括：

在基板上形成相互平行并相互间隔开的一组第一显示电极；

在形成有所述一组第一显示电极的基板上形成一组各具有上层和下层的双层隔离柱，所述一组双层隔离柱相互平行并相互间隔开，且垂直于所述一组第一显示电极，每个所述双层隔离柱的上层在平行于所述一组第一显示电极的方向上具有呈倒梯形形状的横截面；以及

在形成有所述一组第一显示电极和一组双层隔离柱的基板上依次沉积功能层和第二显示电极层，

其中所述横截面的每个侧边与所述基板成45度-70度的角。

9.如权利要求8所述的方法，其中，每个所述双层隔离柱的下层在平行于所述一组第一显示电极的方向上具有呈矩形形状或正梯形形状的横截面。

10.权利要求1或8所述的方法，其中，所述隔离柱由粘度大于15厘泊的不透明的隔离柱胶形成。

11.根据权利要求1或8所述的方法，其中所述横截面具有3-3.5微米优选为3.3微米的高度。

12.一种根据权利要求1-11中任一项所述的方法制造的无源矩阵有机电致发光器件。

13.一种有机电致发光显示设备，包括根据权利要求12所述的无源矩阵有机电致发光器件。