[发明专利]具有遮罩的检测机台

权利要求书

1.一种具有遮罩的检测机台，供通气导接至一个气压增减装置且用以检测至少一个电子元件，其特征在于，该检测机台包括：

一个基座；

一个设置于该基座上、具有至少一个通气孔的承载装置；

至少一组对应上述至少一个通气孔而设置于该承载装置、并供电性连接上述电子元件的检测装置；

一组设置于该基座上、形成有一个对应上述至少一组检测装置的开口、且与该基座共同形成一个气密封闭空间的遮罩；及

其中，该遮罩及/或该基座更形成有至少一个通气连接该气压增减装置、使得该气密封闭空间内形成正压的加压孔。

2.如权利要求1具有遮罩的检测机台，其特征在于，上述承载装置更包括一个导热单元。

3.如权利要求1具有遮罩的检测机台，其特征在于，上述承载装置更包括一个温控单元。

4.如权利要求1具有遮罩的检测机台，其特征在于，上述通气孔是连通至上述气压增减装置，并使上述通气孔处形成负压状态。

5.如权利要求1、2、3或4具有遮罩的检测机台，其特征在于，上述通气孔是连通至该气密封闭空间外，并使上述通气孔处相对该气密封闭空间内的正压形成相对负压状态。

6.如权利要求1、2、3或4具有遮罩的检测机台，其特征在于，该加压孔处更搭配有一调节阀。

7.如权利要求1、2、3或4具有遮罩的检测机台，其特征在于，该检测机台更包括上述气压增减装置。

8.如权利要求7具有遮罩的检测机台，其特征在于，该气压增减装置更包括一个压力计。

9.如权利要求1、2、3或4具有遮罩的检测机台，其特征在于，该遮罩形成有一个透光区。