[发明专利]一种有效提高电铸板质量的方法有效
| 申请号： | 201210025208.X | 申请日： | 2012-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN103243374A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;潘世珎 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D21/10;C25D1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 有效 提高 电铸 质量 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种有效提高电铸板质量的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S10：提供一循环泵，使溶液循环，加快离子交换速率；
S11：通过控制电铸溶液循环流量、循环时间、循环间隔时间、阴极摇摆频率影响干膜边缘的离子交换速率，以控制掩模板的边缘效应；
S12：提供振动、摇摆装置以对电铸槽进行振动和摇摆。
2.如权利要求1所述的有效提高电铸板质量的方法，其特征在于：所述电铸液循环时间控制在50～100s，循环间隔时间控制在100～300s，阴极移动频率控制在100～200Hz。
3.如权利要求2所述的有效提高电铸板质量的方法，其特征在于：所述步骤S12中，控制振动频率为20～50Hz，振动时间控制在5～10，振动间隔时间控制在10～20s。
4.如权利要求3所述的有效提高电铸板质量的方法，其特征在于：所述步骤S12中，通过阴极移动以实现摇摆。
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