[发明专利]防尘薄膜组件用包装箱

说明书

技术领域

本发明涉及一种包装箱，该包装箱是对容置有防尘薄膜组件的容器进行运输以及保管的包装箱，该防尘薄膜组件在制造半导体器件、印刷电路板、大规模集成电路、液晶显示器时作为防尘使用。

背景技术

在大规模集成电路等的制造过程中，将光照射于半导体晶片和液晶用玻璃原板来制作图案时所使用的光罩即光掩膜上一旦附着上尘埃，由于该尘埃会对光产生遮挡或者折射，存在着会对转印录的图案造成损害的问题。为此，这些作业通常在无尘室内进行，但即使这样也很难始终保持光掩膜的清洁，作为光掩膜表面的防尘措施，人们采用了加贴防尘薄膜组件的方法。

利用被加贴上的防尘薄膜组件，异物不会直接附着到光掩膜的表面上，而只是会附着到防尘薄膜组件上，因此光刻时如果将焦点对准在光掩膜的图案上，则防尘薄膜组件上的异物就与转录没有关系。该防尘薄膜组件具有如下结构，即：在防尘薄膜组件框架的上端面上，通过涂布溶剂使其风干来粘接或者通过胶粘剂来粘接能使普通光充分透过的透明的防尘薄膜，并且在防尘薄膜组件框架的下端面上，设置有用于粘贴光掩膜上的粘贴层，以及作为粘贴层的保护目的的离型层(分离层)。

另外，近年来，随着液晶显示器的大型化，液晶用光掩膜和防尘薄膜组件也趋向于大型化，出现了边长超过1000mm的超大型产品。这样的防尘薄膜组件，当然要求其储存容器也大型化，并且随着储存容器的大型化，出现了提高储存容器的刚性的要求，因此伴随着这样的要求，重量的増加也十分显著。

在搬运这样的防尘薄膜组件储存容器时，由于重量，尺寸的问题，人工搬运就变得比较困难。边长超过1000mm的特大型的防尘薄膜组件的搬运作业，不仅工时巨大，在卸下等场合还有会对作业人员造成重大伤害的危险性，是一项伴有极大危险性的作业，因此要使用叉车等叉型搬运设备。为此，考虑到需将叉车的插入，要在防尘薄膜组件储存容器的外部底部设置突出的脚部。

用于容置、运输这样的防尘薄膜组件储存容器的包装箱，如图8所示，为了不对防尘薄膜组件储存容器造成冲击，在内部底面配置底面缓冲体81以及在内部侧面配置侧面缓冲体14，以支持防尘薄膜组件储存容器30的方式而被构成。此时，在防尘薄膜组件边长超过500mm的大型的防尘薄膜组件储存容器的情况下，缓冲体在单位面积上的负载变小，存在不能发挥缓冲能力的可能性。在那样的情况下，通过减少缓冲体的接触面积，能够提高缓冲能力(专利文献1)。相反，在边长超过1000mm的超大型的防尘薄膜组件的情况下，防尘薄膜组件储存容器具有相当的重量，所以很难正确地设计硬度。难以协调缓冲体的沉降初期的缓冲性与新增了大的冲击时的防止触底。

再有，还存在相对于水平方向的冲击难以发挥缓冲能力的问题。在防尘薄膜组件储存容器的重量比较轻的情况下，防尘薄膜组件储存容器对缓冲体的沉降较少，在新增了来自水平方向的冲击时，防尘薄膜组件储存容器在缓冲体之上会有些侧滑现象。配置在侧面的缓冲体，主要是为了在此抵住发生侧滑的防尘薄膜组件储存容器来缓和冲击而配置的。但是，在防尘薄膜组件储存容器的重量非常重的情况下，并且，底面积非常大的情况下，防尘薄膜组件储存容器要么沉降在缓冲体中，或者要么处于摩擦力非常大的状态。因此，在水平方向的冲击缓和方面，下面的缓冲体在水平方向上的剪切变形就显得十分必要，但是由于大的平板状的缓冲体在该方向上几乎不能变形，所以不能充分发挥缓冲能力。

对此，通过将缓冲体的形状做成柱的形状，即：将水平面的面积变小，而将厚度变得非常厚，就能够提高针对水平方向的变形。但是，单纯增加厚度的话会增大无用的空间，而且在装载防尘薄膜组件储存容器时如果不能非常正确地将防尘薄膜组件储存容器装载到缓冲体上的话，会因为失去平衡而出现倾斜以及脱落的危险性，所以并不优选。根据这些情况，到目前为止还没有一种既能够容易地容置或取出防尘薄膜组件储存容器，又对缓冲性进行了适当设计，且还没有异物附着危险性的防尘薄膜组件用包装箱。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-100733号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明是为了解决所述课题而完成的，其目的在于提供一种防尘薄膜组件用包装箱，该包装箱不仅能够将容置了至少一个边长超过1000mm的特大型的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件储存容器以稳定而清洁的状态来不倾斜以及不脱落地进行保管，而且能够在对防尘薄膜组件储存容器以及被容置着的防尘薄膜组件发挥充分的缓冲能力不对其造成冲击和震动的情况下来进行运输以及搬运。

解决课题的方法