[发明专利]一种半导体存储装置及其版图有效

专利信息
申请号: 201210021115.X 申请日: 2012-01-30
公开(公告)号: CN103227174A 公开(公告)日: 2013-07-31
发明(设计)人: 苏志强;刘会娟 申请(专利权)人: 北京兆易创新科技股份有限公司
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115;H01L23/50
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 郝庆芬;郭凤麟
地址: 100083 北京市海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 存储 装置 及其 版图
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,其特征在于,包括:

由多个存储单元构成的存储阵列,每个存储单元由一个金属氧化物半导体MOS晶体管构成,每个MOS晶体管包括栅极、源极和漏极,其中,

位于同一行的每个MOS晶体管的栅极共同连接至同一字线WL;

位于同一列的相邻两个MOS晶体管的源极相互连接或者漏极相互连接;

位于同一列的每个MOS晶体管的漏极连接至同一位线BL;

位于同一行的每个MOS晶体管的源极连接至同一源线SL;

多个存储单元通过源线SL进一步连接到公共源线BSL;其中,

公共源线BSL由多个预定阈值MOS晶体管构成,每个预定阈值MOS晶体管包括栅极、源极和漏极。

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于,

金属氧化物半导体MOS晶体管为浮栅结构的金属氧化物半导体MOS晶体管。

3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于,

公共源线BSL的相邻两个预定阈值MOS晶体管的源极相互连接或者漏极相互连接。

4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于,

预定阈值MOS晶体管的栅极与位于同一行的MOS晶体管的栅极共同连接至字线WL。

5.根据权利要求4所述的半导体存储装置,其特征在于,

预定阈值MOS晶体管的源极与位于同一行的MOS晶体管的源极共同连接至源线SL。

6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于,

半导体存储装置在读取、编程、和检验操作中,预定阈值MOS晶体管保持导通状态。

7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于,

半导体存储装置在擦除操作中,预定阈值MOS晶体管处于可恢复的穿通状态。

8.根据权利要求1-7所述的半导体存储装置,其特征在于,

预定阈值MOS晶体管为零阈值MOS晶体管和耗尽型MOS晶体管,其中,在90nm和65nm工艺下,零阈值MOS晶体管的阈值范围在-0.2V到0.2V之间,耗尽型MOS晶体管的阈值范围在-2V到-1V之间。

9.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于,

连接至同一公共源线BSL连接的存储单元的数量为预定值M,其中,

M=2nx2m,其中,m、n分别为大于或等于2的整数。

10.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于,

半导体存储装置为闪存Flash存储器。

11.根据权利要求10所述的半导体存储装置,其特征在于,

闪存Flash存储器包括:NOR Flash存储器、NAND Flash存储器。

12.一种根据权利要求1所述的半导体存储装置的版图,其特征在于,

公共源线BSL的接触孔的尺寸与存储单元的接触孔的尺寸相同。

13.根据权利要求12所述的版图,其特征在于,

公共源线BSL的宽度与存储单元的宽度相同。

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