[发明专利]薄膜状产品的制造方法、薄膜状产品的制造装置、及掩膜

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜状产品的制造方法、薄膜状产品的制造装置、及掩膜。

背景技术

已公知的薄膜状产品的制造方法是在薄膜上曝光一整幅图案，并在曝光与曝光之间搬运一幅图案长度的薄膜的制造方法(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1专利公开平4-97155号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，采用上述方法，需要相当于最终所希望的一幅图案以上的曝光面积的掩膜、光源及场地，存在薄膜状产品的制造装置变大的问题。

解决技术问题的手段

在本发明的第一方式中，提供一种薄膜状产品的制造方法，其包括搬运步骤，其沿长度方向搬运长条状的薄膜；曝光步骤，使用对预定曝光区域进行曝光的曝光装置将所述薄膜曝光；在所述搬运步骤及所述曝光步骤中，曝光比所述曝光装置的所述曝光区域中的所述长度方向的长度还要长、且没有断缝的所述薄膜。

在本发明的第二方式中，提供一种薄膜状产品的制造装置，其包括：搬运部，沿长度方向搬运长条状的薄膜；曝光部，在预定曝光区域里曝光所述薄膜；曝光比在所述曝光区域的所述长度方向的长度还长、且没有断缝的所述薄膜。

在本发明的第三方式中，提供一种掩膜，是为了沿长度方向搬运长条状薄膜的同时，用来自偏振光输出部的第1偏振光及第2偏振光对所述薄膜进行曝光的掩膜，所述掩膜包括：透射第1偏振光的第1透射区域，以及透射与所述第1偏振光的偏振光方向交叉的第2偏振光的第2透射区域；所述第1透射区域及所述第2透射区域，至少有一部分配置在与所述长度方向交叉的宽度方向上的不同的位置上。

在本发明的第四方式中，提供一种掩膜，是沿长度方向搬运长条状薄膜的同时，用偏振光输出部发出的偏振光来曝光所述薄膜的掩膜，所述掩膜在与所述长度方向交叉的宽度方向上延伸，并配置在所述偏振光输出部和所述薄膜之间，具有透射所述偏振光的透射区域。

再有，上述发明的概要并未将本发明的全部必要特征列都列举出来。并且，这些特征群的次级组合也能构成本发明。

附图说明

图1是本实施方式涉及的相位差板的整体平面图。

图2是沿图1的II-II线的纵向剖面图。

图3是本实施方式涉及的相位差板制造装置的整体结构图。

图4是曝光部的整体立体图。

图5是掩膜的仰视图。

图6是沿图5的VI-VI线的纵向剖面图。

图7是上游侧张力辊及下游侧张力辊的立体图。

图8是另一实施方式涉及的一对张力辊的立体图。

图9是图8的上游侧张力辊的侧面图。

图10是另一实施方式涉及的掩膜的仰视图。

图11是另一实施方式涉及的掩膜的仰视图。

图12是另一实施方式涉及的掩膜的仰视图。

图13是另一实施方式涉及的掩膜的仰视图。

图14是另一实施方式涉及的掩膜的仰视图。

具体实施方式

下面通过发明的实施方式来说明本发明，但下述的实施方式并不限定权利要求涉及的发明。并且，在实施方式中说明的特征组合并非全部都是发明的解决手段所必须的。

图1是本实施方式涉及的相位差板的整体平面图。相位差板100是通过本实施方式的薄膜状产品的制造方法进行曝光后的薄膜的一个例子。相位差板100设置在立体图像显示装置的液晶图像生成部的输出侧，输出右眼用图像及左眼用图像。

相位差板100被制成一边为数cm～数m的长方形形状。如图1所示，相位差板100具有切割薄膜102、偏振光调制部104及偏振光调制部106。

切割薄膜102是将树脂制的长条状薄膜90切割成一定长度而形成的。切割薄膜102支撑偏振光调制部104及偏振光调制部106。切割薄膜102可以由环状烯烃系薄膜构成。作为环状烯烃系薄膜，可以使用环状烯烃聚合物(＝COP)、优选使用是环状烯烃聚合物的共聚体的环状烯烃共聚物(＝COC)。作为COP薄膜，能够举出日本吉恩(ゼォン)公司的ZEONOR薄膜(Film ZEONOR)ZF14。并且，切割薄膜102也可由包含三乙酰纤维素(＝TAC)的材料构成。TAC薄膜能举出富士照片胶卷公司制造的富士达(FUJITAC)T80SZ。再有，使用环状烯烃系薄膜时，从脆弱性的观点考虑，优选使用高韧性类型的薄膜。