[发明专利]薄膜状产品的制造方法、薄膜状产品的制造装置、及掩膜

权利要求书

1.一种薄膜状产品的制造方法，其特征在于包括：

搬运步骤，沿长度方向搬运长条状的薄膜；

曝光步骤，使用曝光预定曝光区域的曝光装置来曝光所述薄膜；其中，

在所述搬运步骤及所述曝光步骤中，曝光比所述曝光装置的所述曝光区域中的所述长度方向的长度还要长的、且没有断缝的所述薄膜。

2.根据权利要求1所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

所述曝光区域包含被第1偏振光曝光的第1曝光区域，及被偏振光方向不同于所述第1偏振光的第2偏振光曝光的第2曝光区域；

所述第1曝光区域及所述第2曝光区域配置在长度方向上的不同位置上。

3.根据权利要求2所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

在所述曝光步骤里，包含由所述第1偏振光及所述第2偏振光曝光所述薄膜的步骤，所述第1偏振光由第1偏振光输出部输出并透过掩膜，所述第2偏振光由第2偏振光输出部输出并透过所述掩膜，所述第2偏振光输出部配置在长度方向上异于所述第1偏振光输出部的位置上；

所述掩膜，具有：

第1透射区域，其配置在所述第1偏振光输出部和所述薄膜之间，透射所述第1偏振光；

第2透射区域，其配置在所述第2偏振光输出部和所述薄膜之间，透射所述第2偏振光；

所述第1透射区域及所述第2透射区域，至少有一部分配置在与所述长度方向交叉的宽度方向上的不同的位置上。

4.根据权利要求1所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

在所述曝光步骤里，包含以被偏振光输出部输出的、透射掩膜的偏振光来曝光所述薄膜的步骤；

所述掩膜在与所述长度方向交叉的宽度方向上延伸，配置在所述偏振光输出部和所述薄膜之间，具有透射所述偏振光的透射区域。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

在所述曝光步骤里，所述薄膜由夹隔所述曝光区域而配置的一对张力辊所施予的张力来支持。

6.根据权利要求5所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

所述一对张力辊中至少一方是在与长度方向交叉的宽度方向的中央部形成有凹部的凹形辊。

7.根据权利要求6所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

所述一对张力辊中，搬运方向的上游侧的张力辊是所述凹形辊。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

在所述曝光步骤里，在通过所述搬运步骤搬运所述薄膜的同时曝光所述薄膜。

9.根据权利要求1～7中任意一项所述的薄膜状产品的制造方法，其特征在于：

所述曝光步骤和所述搬运步骤交互实施；

在所述搬运步骤里，在所述曝光区域的长度方向的长度以下，搬运所述薄膜。

10.一种薄膜状产品的制造装置，其包括：其特征在于：

沿长度方向搬运长条状薄膜的搬运部；以及

在预定的曝光区域里曝光所述薄膜的曝光部；

曝光比所述曝光区域中的所述长度方向的长度还长的、没有断缝的所述薄膜。

11.根据权利要求10所述的薄膜状产品的制造装置，其中其特征在于：

所述曝光部具有用于输出第1偏振光的第1偏振光输出部，以及输出第2偏振光的第2偏振光输出部，所述第2偏振光具有与所述第1偏振光的偏振光方向不同的偏振光方向；

所述第1偏振光输出部及所述第2偏振光输出部，配置在长度方向中的不同位置上。

12.根据权利要求11所述的薄膜状产品的制造装置，其特征在于：

所述曝光部具有掩膜，所述掩膜具有：

第1透射区域，其配置在所述第1偏振光输出部和所述薄膜之间，透射所述第1偏振光；以及

第2透射区域，其配置在所述第2偏振光输出部和所述薄膜之间，透射所述第2偏振光；

所述第1透射区域及所述第2透射区域，至少有一部分配置在与所述长度方向交叉的宽度方向上的不同的位置。