[发明专利]一种掩模板防静电环无效
| 申请号： | 201210014991.X | 申请日： | 2012-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102569265A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 魏芳;阚欢 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/60 | 分类号： | H01L23/60 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 模板 静电 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩模板防静电环，包括一掩模板防静电环本体，其特征在于，将该掩模板防静电环的拐角内角设置为至少两个钝角形状或圆弧形状。
2.根据权利要求1所述的掩模板防静电环，其特征在于，掩模板防静电环的拐角内角为钝角形状时，其钝角的边的长度大于或等于0.5um。
3.根据权利要求1或2所述的掩模板防静电环，其特征在于，掩模板防静电环的拐角内角形状设置为两个钝角形状时，其钝角的边的长度优选的为5um。
4.根据权利要求1所述的掩模板防静电环，其特征在于，掩模板防静电环的拐角内角设置为圆弧形状时，其曲率半径大于或等于0.5um。
5.根据权利要求1或4所述的掩模板防静电环，其特征在于，掩模板防静电环的拐角内角设置为圆弧形状时，其曲率半径优选的为5um。
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