[发明专利]一种延长光刻胶有效使用时间的方法无效
| 申请号： | 201210014965.7 | 申请日： | 2012-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN102540706A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 何伟明;朱治国 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 延长 光刻 有效 使用时间 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种延长光刻胶有效使用时间的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1：于涂胶机台上设置一冷藏装置，光阻瓶放置于该冷藏装置中，以保持光阻瓶中的光刻胶温度小于10℃；
步骤S2：于光阻瓶和排泡存储罐之间设置光阻加热装置，以使经过的光刻胶温度上升至常温；
步骤S3：光刻胶从光阻瓶通过管道运输，依次经过光阻加热装置、排泡存储罐、过滤器和光阻泵，并利用精确控温系统保证从光阻泵至喷头的光刻胶在使用时其温度为常温。
2.根据权利要求1所述的延长光刻胶有效使用时间的方法，其特征在于，所述常温为22℃或23℃。
3.根据权利要求1所述的延长光刻胶有效使用时间的方法，其特征在于，冷藏装置为恒温的微型冷藏室，其温度范围为0-10℃。
4.根据权利要求1所述的延长光刻胶有效使用时间的方法，其特征在于，光阻加热装置的加热方式为热循环水、射频模式、红外加热或光源加热。
5.根据权利要求1或4所述的延长光刻胶有效使用时间的方法，其特征在于，光阻加热装置内设置有光刻胶温度测量装置，以实时监控光刻胶温度并根据该温度及时调整光阻加热装置的加热温度。
6.根据权利要求1或4所述的延长光刻胶有效使用时间的方法，其特征在于，光阻加热装置内的管道为迂回管道，以延长光刻胶加热时间。
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