[发明专利]具有镍铟锡氧化物自旋电子注入层的LED芯片结构有效
| 申请号: | 201210014723.8 | 申请日: | 2012-01-18 |
| 公开(公告)号: | CN102723411A | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
| 发明(设计)人: | 许并社;李学敏;刘旭光 | 申请(专利权)人: | 许并社;李学敏;刘旭光 |
| 主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02 |
| 代理公司: | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人: | 朱源 |
| 地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 镍铟锡 氧化物 自旋 电子 注入 led 芯片 结构 | ||
1.一种具有镍铟锡氧化物自旋电子注入层的LED芯片结构,包括蓝宝石基板(1)、N型氮化镓外延层(2)、多层量子阱氮化铟镓/氮化镓主动层(3)、P型氮化镓外延层(4)、负电极金属层(7)、以及正电极金属层(8);其特征在于:还包括铟锡氧化物透明导电层(5)和镍纳米粒子层(6);其中,N型氮化镓外延层(2)堆栈于蓝宝石基板(1)上;多层量子阱氮化铟镓/氮化镓主动层(3)堆栈于N型氮化镓外延层(2)上,且N型氮化镓外延层(2)部分曝露于多层量子阱氮化铟镓/氮化镓主动层(3)外;P型氮化镓外延层(4)堆栈于多层量子阱氮化铟镓/氮化镓主动层(3)上;铟锡氧化物透明导电层(5)堆栈于P型氮化镓外延层(4)上;镍纳米粒子层(6)溅镀于铟锡氧化物透明导电层(5)上;负电极金属层(7)堆栈于N型氮化镓外延层(2)的曝露部分上;正电极金属层(8)堆栈于P型氮化镓外延层(4)上,且正电极金属层(8)与铟锡氧化物透明导电层(5)连接。
2.根据权利要求1所述的具有镍铟锡氧化物自旋电子注入层的LED芯片结构,其特征在于:所述蓝宝石基板(1)是采用蓝宝石制成的。
3.根据权利要求1或2所述的具有镍铟锡氧化物自旋电子注入层的LED芯片结构,其特征在于:所述镍纳米粒子层(6)是采用镍制成的。
4.根据权利要求1或2所述的具有镍铟锡氧化物自旋电子注入层的LED芯片结构,其特征在于:所述镍纳米粒子层(6)是利用磁控溅镀系统制备而成,再以高温800℃热退火处理而形成纳米粒子结构。
5.根据权利要求3所述的具有镍铟锡氧化物自旋电子注入层的LED芯片结构,其特征在于:所述镍纳米粒子层(6)是利用磁控溅镀系统制备而成,再以高温800℃热退火处理而形成纳米粒子结构。
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