[发明专利]彩色滤光片制造工艺中的显影排液的处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种彩色滤光片制造工艺中的显影排液的处理方法。

背景技术

至今为止，在彩色滤光片的制造中，利用分散了颜料的光阻剂进行光刻的图案形成法，即彩色光阻剂法为人们所知。

而且，在彩色滤光片制造工艺中的彩色光阻剂显影过程中，一般使用含有颜料、碱溶性树脂(碱溶性聚合物)、光聚合成分(单体)以及光聚合引发剂、分散剂、溶剂等的彩色光阻剂液。

例如，彩色滤光片处理过程的一般制作方法包括(例如：参照非专利文献1)：在基板上形成黑色矩阵(BM)后，将该彩色光阻剂液(例如红色系)涂布在形成了BM的基板上而形成膜的工序；经由光掩膜进行图案曝光后进行UV硬化的曝光工序；用显影液将彩色光阻剂的不要部分除去后，进行所谓烘烤硬化的显影/烘烤工序的膜形成/曝光/显影/烘烤工序，继而使用其它色系的彩色光阻剂液，反复进行该工序，最终形成RGB三色，通过溅射法形成透明导电(ITO)膜。

另外，除了在玻璃基板上进行铬蒸镀后通过蚀刻处理来形成图案的方法以外，还有和彩色光阻剂相同地，在使用了黑色颜料的光阻剂液中通过光刻法来形成BM图案的方法。进而，在色分解滤光片中除了RGB三色以外，还有试图通过扩大色域范围的高性能化的RGBY四色的滤光片等也已经实现了实用化，也有CMY系等的色分解滤光片。

在任何情况下，在这些显影过程中，未曝光部分的彩色光阻剂(未硬化的彩色光阻剂)经由以高浓度的非离子表面活性剂与碱性成分为主体成分的显影液被洗脱。即，此时会发生主要含有未硬化的彩色光阻剂和显影液的彩色滤光片显影排液。

可是，作为现有技术的彩色滤光片显影排液的处理方法，例如可以列举：凝聚沉淀法或活性炭法。

另外，提出了如下方案(专利文献4)：在进行光刻法时将基板洗净后，在将含有四烷基化合物和少量光致抗蚀剂的洗净排液的pH值保持在5以上、且不满9的条件下，加压提供到反渗透膜装置的方法。

另外，也提出了如下方案(专利文献5)：将含有光致抗蚀剂的排液的pH值调整到酸性，然后，将pH值调整到适合于光致抗蚀剂聚集沉淀的碱性，再调整到中性使光致抗蚀剂聚集沉淀，进行膜处理的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-128518号公报

专利文献2：日本特开2010-102346号公报

专利文献3：日本特开2008-246372号公报

专利文献4：日本特开2001-276824号公报

专利文献5：日本特开2006-255668号公报

非专利文献

非专利文献1：最先端彩色滤光片处理技术和化学，责任编辑市村国宏，CMC株式会社出版，2006年4月1日第二版发行，P1～300

发明内容

发明要解决的课题

在彩色滤光片的显影排液中，富含有多种来源于光致抗蚀剂的颜料或各种化合物、以及来源于显影液的表面活性剂。因此，在该显影排液中，因颜料染色(色度、浊度、外观)、或来源于表面活性剂和光致抗蚀剂的有机物具有非常高的浓度。

以该彩色滤光片的显影排液的排放和回收为目的，为了减少这些物质的浓度，通过凝聚沉淀处理将染色成分除去，或通过活性炭处理将有机物除去。

可是，由于颜料的分散性非常高，凝聚沉淀处理非常困难(参照后述的实施例〔表6〕)。另外，由于表面活性剂的浓度非常高，活性炭的消耗量非常大。因此，既有经济上的压力，又有操作运转不稳定的问题。

还有，在反渗透膜或NF膜等的膜过滤法中，在对上述颜料处理或表面活性剂处理进行得不充分的状态下，由于产生膜的闭塞，不能实现稳定操作运转。

由此，本发明的目的在于提供一种处理方法，其能够从滤光片的显影排液中，有效地将彩色光阻剂和表面活性剂分离除去，能够改善操作运转的稳定性和经济性。

解决课题的方法

本发明人为了解决上述课题，进行深入研究的结果发现，如果对彩色滤光片显影排液在加热到指定温度以上的状态、且使pH值调整在7以下的状态下，进行固液分离，不但能使分离后处理水中的彩色光阻剂减少，还能减少处理前的彩色滤光片显影排液中含有的表面活性剂或碱溶性聚合物。

即、本发明提供一种滤光片制造工序中的显影排液的处理方法，其特征在于，该方法具有：将该显影排液加热到50℃以上的加热工序、和将该将显影排液的pH值调整到7以下的pH值调整工序，在对该显影排液进行加热和在pH值调整后的状态下，进行固液分离。