[发明专利]彩色滤光片制造工艺中的显影排液的处理方法无效
申请号: | 201210013125.9 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN102608878A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 山田聡;佐藤茂 | 申请(专利权)人: | 栗田工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32;G03F7/30;C02F9/10;C02F9/14 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩色 滤光 制造 工艺 中的 显影 处理 方法 | ||
1.一种彩色滤光片制造工艺中的显影排液的处理方法,
其特征在于,具有将该显影排液加热到50℃以上的加热工序,和
将该显影排液的pH值调整到7以下的pH值调整工序,
在将该显影排液进行加热和在pH值调整后的状态下,进行固液分离。
2.如权利要求1所述的显影排液的处理方法,其特征在于,
在上述加热工序中,将上述显影排液加热到60~100℃、以及/或者在上述pH值调整工序中,将上述显影排液的pH值调整到2~6的酸性范围。
3.如权利要求1所述的显影排液的处理方法,其特征在于,同时使用絮凝剂。
4.如权利要求2所述的显影排液的处理方法,其特征在于,同时使用絮凝剂。
5.如权利要求1~4中任一项所述的显影排液的处理方法,其特征在于,回收上述固液分离后的加热处理水中的热量,再利用于上述加热工序中的显影排液的加热。
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