[发明专利]一种LED刻蚀机用托盘的加工工艺

权利要求书

1.一种LED刻蚀机用托盘的加工工艺，包括以下步骤：

     A、设计并加工真空夹具的底盘（1）及相配套的吸附零件的吸盘（2），并加工出气体流通的沟槽、用于定位的销孔、固定吸盘的螺栓孔和用于连接真空泵的气管接口； 

     B、机械加工LED刻蚀机用托盘（3）工作面，在加工中心上加工出材料的一个面，保证其平面度达到要求，把加工出的材料一个面和加工中心的工作台板用厚度均匀的双面胶连接并固定，运行程序加工出LED刻蚀机用托盘的工作面；

     C、利用真空夹具加工LED刻蚀机用托盘（3）安装面，将真空夹具固定在加工中心工作台板上，用通气管将真空夹具与真空泵连接，用材料上的销孔定位，开启真空泵，利用空气吸力吸附材料在真空夹具上，运行程序加工材料安装面所有特征；

     D、对工件的表面进行本色阳极氧化或硬质阳极氧化处理。

2.根据权利要求1中所述的一种LED刻蚀机用托盘的加工工艺，其特征在于：所述步骤A中，所述底盘上设有连接孔（1-1）与真空泵用通气管相通，吸附力通过通气槽（1-2）进行分布，所述吸盘上的通气孔（2-1）通过底盘上的通气槽（1-2）与吸盘（2）上的吸附槽（4）连接。

3.根据权利要求1中所述的一种LED刻蚀机用托盘的加工工艺，其特征在于：所述步骤B中，所述托盘（3）的基准面平面度为0.05，平行度为0.05。