[发明专利]探测装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于液晶显示面板那样的平板状被检查体的电试验的探测装置及其制造方法。

背景技术

通常，利用如探测单元那样的、使用探测装置的检查装置、即试验装置对封入有液晶的液晶显示面板那样的平板状的被检查体进行检查、即进行试验。作为一种那样的探测装置，存在专利文献1所述的装置。

专利文献1所述的探测装置包括：挠性的布线板，其在一个面上具有多条布线；支承体，其借助结合构件支承该布线板。布线板与结合构件相接合，由于结合构件与支承体相结合，布线板被支承体支承。

布线板的布线相互隔开间隔地在布线板的一个面内延伸。各布线在其顶端具有用于与被检查体的电极接触的接触电极。这些布线与被检查体的电极的相互的间隔相对应地隔开规定的间隔而配置。因而，设在布线板的顶端的接触电极的相互的间隔也是与被检查体的多个电极的相互的间隔相对应的规定的间隔。由此，在进行试验时，各接触电极能够与被检查体的所对应的电极接触。

不过，在以往的探测装置中，布线板利用热固性的接合材料与支承体及结合构件(以下，称为“支承体等”。)接合。因而，在接合布线板时，为了使热固性的接合材料固化而加热布线板及支承体等。然而，布线板是通过将聚酰亚胺那样的热膨胀率较高的材料作为基材而制作成的，因此，布线板由于加热而膨胀。

布线板发生热膨胀时，设于该布线板的布线的相互的间隔扩大。由此，设于布线的接触电极的间隔也扩大，因此，接触电极相对于被检查体的电极发生位置错位。因而，布线板会被以接触电极发生了位置错位的状态安装于支承体等。

在将布线板安装于支承体之后，布线板被冷却到常温，但该布线板已被接合于支承体等，因此，布线的相互的间隔被维持成布线板发生了膨胀时的状态，接触电极被维持成相对于被检查体的电极发生了位置错位的状态。因而，在那样的探测装置中，不能使接触电极与被检查体的电极准确地接触。

为了防止上述那样的接触电极的位置错位，存在下述这样的布线板：以布线板发生热膨胀为前提，以布线板的接触电极的间隔比被检查体的电极间隔窄的状态进行制作而成的。若采用那样的布线板，在与支承体等接合时，布线板被加热，该布线板发生热膨胀而布线板的多条布线的相互的间隔扩大，由此，能够使安装于布线的多个接触电极的间隔与被检查体的电极的间隔相同。

然而，为了使布线板的布线的间隔变成规定的间隔而欲调整加热量时，也需要考虑吸热量较大的支承体等的吸热而对布线板进行加热。因此，难以进行接触电极的间隔调整，有时接触电极的间隔因加热不足而扩大得不充分，或者，有时接触电极的间隔因加热过剩而扩大得过大。

在这种情况下，接触电极相对于被检查体的电极会发生位置错位。在接触电极发生了位置错位的探测装置中，由于接触电极不能与被检查体的电极准确地接触，因此，不能对被检查体进行试验。

另外，有时在制造探测装置之后加热探测装置。例如，在被检查体的点亮检查过程中，有时在高温环境下对被检查体进行试验。在这种情况下，探测装置也会被置于与被检查体相同的高温环境下。

此时，如果布线板不是通过与支承体接合而安装的(例如，利用螺纹构件安装于支承构件时)，则布线板能够发生热膨胀。因而，如果将包括布线板在内的探测装置置于高温环境下，则布线板发生热膨胀，从而布线板的布线的间隔扩大。

由于布线的间隔扩大，设于布线的接触电极的间隔也相对于规定的间隔(被检查体的电极的间隔)而扩大，因此，接触电极相对于被检查体的电极发生位置错位。在接触电极发生了位置错位的探测装置中，接触电极不能与被检查体的电极准确地接触，因此，不能对被检查体进行试验。

专利文献1：韩国登记专利第10-0720378号公报

发明内容

本发明的目的在于防止探测装置的接触电极相对于被检查体的电极发生位置错位。

本发明的探测装置包括：布线板，其具有挠性；支承体，其用于支承该布线板；间隔维持构件，其安装于布线板。上述布线板包括：多条布线，其设于该布线板的一个面，且在第1方向上隔开间隔地沿与该第1方向正交的第2方向延伸；多个接触电极，其设于该布线。上述间隔维持构件具有与上述布线板相比较低的热膨胀系数及较高的刚性，上述间隔维持构件安装于上述布线板，用于将上述多条布线相互的间隔维持成上述布线板发生了膨胀后的状态。

上述间隔维持构件也可以具有以与上述布线板相对的方式覆盖上述布线的平面，且上述间隔维持构件利用接合材料在该平面内与上述布线板接合。另外，上述间隔维持构件能够具有玻璃制的板状构件，能够使上述接合材料具有热固性。