[发明专利]掩模对位装置及其对位方法

权利要求书

1.一种掩模对位装置，用于对位掩模板和掩模框架，其特征在于：包括基台、销钉、拉动装置，所述掩模板、所述掩模框架、所述销钉和所述拉动装置均位于基台上，所述掩模板和所述掩模框架上分别具有对位孔，所述销钉可以通过所述拉动装置微调其位置。

2.根据权利要求1所述的掩模对位装置，其特征在于，所述掩模板上的对位孔形状与所述掩模框架上的对位孔形状相同、数量相等、大小相等。

3.根据权利要求2所述的掩模对位装置，其特征在于，所述对位孔可以是方孔、圆弧孔等形状。

4.根据权利要求1或2所述的掩模对位装置，其特征在于，所述掩模板和所述掩模框架上的对位孔至少为两个。

5.根据权利要求1所述的掩模对位装置，其特征在于，所述基台的内边缘位于所述掩模框架的内边缘里侧。

6.根据权利要求1所述的掩模对位装置，其特征在于，所述销钉可以在所述掩模框架的外边框长度范围内的任意位置，所述销钉的个数至少为三个。

7.根据权利要求6所述的掩模对位装置，其特征在于，当所述掩模框架一边中的销钉为一个时，销钉位于掩模框架该边的中间位置。

8.根据权利要求6所述的掩模对位装置，其特征在于，当所述掩模框架一边中的销钉为两个时，两个销钉关于掩模框架该边的中点对称。

9.根据权利要求1所述的掩模对位装置，其特征在于，所述掩模框架外边框上至少有两条边有销钉。

10.一种掩模对位方法，其特征在于，使用上述掩模对位装置实现。

11.根据权利要求9所述的掩模对位方法，其特征在于，步骤包括：将掩模框架放于对位基台上，使其侧面与销钉相接触；将掩模板水平放置在掩模框架上，保证二者紧密贴合；通过CCD准确捕捉掩模板及掩模框架上的对位孔；通过装置自带软件读出相对应的对位孔的最大偏差值；若差值超出±15μm，调整销钉；再次用CCD 捕捉掩模板及掩模框架上的对位孔，读取两组对位孔之间相对偏差值；重复读取两组对位孔的偏差值，直至控制在±15μm。