[发明专利]一种微影制作方法在审
| 申请号： | 201210010745.7 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103207525A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;赵录军;陈龙英 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种微影制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
S10：选择芯模，选定一种材料及合适厚度的芯模，以解决产品表面应力、质量及芯模寿命的问题；
S11：确定不同种类干膜对应的曝光量，对于不同厚度干膜的曝光量，通过采用41节曝光尺的曝光实验来确定；
S12：确定显影参数。
2.如权利要求1所述的微影制作方法，其特征在于：所述步骤S10中，选择不锈钢304材质的钢板作为电铸芯模。
3.如权利要求1所述的微影制作方法，其特征在于：所述芯膜的厚度为0.3mm或者1.8mm。
4.如权利要求3所述的微影制作方法，其特征在于：对于100μm及以下的干膜使用0.3mm厚度的芯模，曝光量50MJ~500MJ之间；而对于100um~130um的干膜使用1.8mm芯模，曝光量500MJ~1000MJ之间。
5.如权利要求4所述的微影制作方法，其特征在于：所述步骤S12包括有：计算显影点，首先确定显影段的长度L，使贴膜的板以速度V1匀速前进，当板的前端到达显影段末尾时停止显影喷淋，让板传送出显影机，等板面水渍干净测量显净部分长度l，通过公式(L-l)/L*100%来计算显影点。
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