[发明专利]掩模组件间接对位的方法

权利要求书

1.一种用于掩模组件间接对位的方法，包括以下步骤：

S1、将掩模框架水平放置在对位基台上，使掩模框架与对位基台上的对位销钉对齐；

S2、将对位辅助板水平放置在掩模框架上且与对位基台相对固定，并使对位辅助板的对位孔A₁与掩模框架上相应的对位孔B对应；

S3、通过CCD自上而下捕捉对位辅助板和掩模框架上对位孔的位置图像，并测量对位孔A₁与对位孔B的相对位置偏差L；

S4、若L>15μm，则调整对位销钉的位置以微调掩模框架的位置直至L≤15μm，若L≤15μm则直接进行后续步骤； 

S5、将对位辅助板从对位基台上取下，并将掩模板水平放置在掩模框架上且固定在对位基台上；以及

S6、通过CCD自上而下捕捉掩模板的对位孔A与相应的掩模框架对位孔B的位置图像，检测对位孔A是否被对位孔B的边缘遮挡，若被遮挡则重复步骤S2～S6直至对位孔A完全为通孔，

其中，掩模板的对位孔A的直径小于掩模框架的对位孔B的直径，且对位辅助板的对位孔A与掩模框架的对位孔B的直径相同。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，掩模板的对位孔A至少是两个。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，掩模板的对位孔A处于对角位置，并处于掩模板上的开口图形区域之外。

4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，对位辅助板的对位孔A₁与掩模板的对位孔A的相对位置相同。

5.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，掩模板的对位孔A的直径不大于0.5mm。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，掩模框架的对位孔B的直径为2-3mm。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对位辅助板与掩模板的尺寸相同，且该尺寸大于掩模框架的尺寸以使对位辅助板或掩模板能被固定在对位基台上。