[发明专利]一种电路、阵列基板及制作方法、显示器有效
申请号: | 201210004964.4 | 申请日: | 2012-01-09 |
公开(公告)号: | CN102629621A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 陈海晶 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77;H01L51/52;G09G3/32 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电路 阵列 制作方法 显示器 | ||
1.一种电路,其特征在于,至少包括相连的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管的漏极和所述第二薄膜晶体管的栅极电性连接,所述第一薄膜晶体管的漏极和所述第二薄膜晶体管的栅极同层设置。
2.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,所述第一薄膜晶体管为开关薄膜晶体管、所述第二薄膜晶体管为驱动薄膜晶体管;其中,所述开关薄膜晶体管的栅极连接扫描信号、源极连接数据信号,漏极和所述驱动薄膜晶体管的栅极电性连接;所述驱动薄膜晶体管的源极连接电源信号,漏极和有机发光器件的阳极电性连接;所述开关薄膜晶体管的漏极和所述驱动薄膜晶体管的栅极同层设置,且利用同一次构图工艺形成。
3.一种阵列基板,包括:相互垂直的扫描线和数据线,与数据线平行的电源线,以及所述扫描线和数据线所限定的像素单元;在所述像素单元内至少形成有开关薄膜晶体管、驱动薄膜晶体管;其中,所述开关薄膜晶体管的栅极和所述扫描线电性连接、源极和所述数据线电性连接,漏极和所述驱动薄膜晶体管的栅极电性连接;所述驱动薄膜晶体管的源极和所述电源线电性连接,漏极和有机发光器件的阳极电性连接;其特征在于,所述开关薄膜晶体管的漏极和所述驱动薄膜晶体管的栅极同层设置。
4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管的栅极为底层导电薄膜经过构图工艺所形成图案的一部分;
所述开关薄膜晶体管的源、漏极,以及所述驱动薄膜晶体管的栅极和源、漏极为顶层导电薄膜经过构图工艺所形成图案的一部分。
5.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管的源、漏极,以及所述驱动薄膜晶体管的栅极和源、漏极为底层导电薄膜经过构图工艺所形成图案的一部分;
所述开关薄膜晶体管的栅极为顶层导电薄膜经过构图工艺所形成图案的一部分。
6.根据权利要求4或5所述的阵列基板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管的栅极和所述开关薄膜晶体管的有源层之间绝缘层的厚度比所述驱动薄膜晶体管的栅极和所述驱动薄膜晶体管的有源层之间绝缘层的厚度大。
7.根据权利要求3-5任一项所述的阵列基板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管的有源层和/或所述驱动薄膜晶体管的有源层的材料为氧化物半导体。
8.根据权利要求7所述的阵列基板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管的有源层和/或所述驱动薄膜晶体管的有源层的材料为含有铟、镓、锌中至少一种金属的氧化物半导体。
9.一种显示器,其特征在于,包括:权利要求3-8任一项所述的阵列基板以及有机发光器件;其中,所述有机发光器件包括:阳极、阴极和有机功能层。
10.一种权利要求4所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,包括:
在衬底基板上制作底层导电薄膜,并通过构图工艺至少形成开关薄膜晶体管的栅极和扫描线;
制作第一绝缘层;
制作半导体薄膜,并通过构图工艺形成开关薄膜晶体管的有源层、驱动薄膜晶体管的有源层;
制作第二绝缘层,并通过过孔连接工艺至少在覆盖开关薄膜晶体管有源层上的第二绝缘层上形成两个过孔,在覆盖驱动薄膜晶体管有源层上的第二绝缘层上形成两个过孔;
制作顶层导电薄膜,覆盖上述第二绝缘层上的过孔,并通过构图工艺至少形成开关薄膜晶体管的源、漏极,驱动薄膜晶体管的栅极和源、漏极以及数据线、电源线;其中,开关薄膜晶体管的源极和数据线直接相连,驱动薄膜晶体管的源极和电源线直接相连,且开关薄膜晶体管的漏极和驱动薄膜晶体管的栅极直接相连;
制作第三绝缘层,并在该第三绝缘层上形成用于与有机发光器件的阳极电性连接的过孔。
11.一种权利要求5所述的阵列基板的制作方法,其特征在于,包括:
在衬底基板上制作底层导电薄膜,并通过构图工艺至少形成开关薄膜晶体管的源、漏极,驱动薄膜晶体管的栅极和源、漏极以及数据线、电源线;其中,开关薄膜晶体管的源极和数据线直接相连,驱动薄膜晶体管的源极和电源线直接相连,且开关薄膜晶体管的漏极和驱动薄膜晶体管的栅极直接相连;
制作第一绝缘层,并通过过孔连接工艺至少在覆盖开关薄膜晶体管源极、漏极,驱动薄膜晶体管源极、漏极的第一绝缘层上分别形成过孔;
制作半导体薄膜,覆盖上述第一绝缘层上的过孔,并通过构图工艺形成开关薄膜晶体管的有源层、驱动薄膜晶体管的有源层;
制作第二绝缘层;
制作顶层导电薄膜,并通过构图工艺至少形成开关薄膜晶体管的栅极和扫描线;
制作第三绝缘层,并在该第三绝缘层上形成用于与有机发光器件的阳极电性连接的过孔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司,未经京东方科技集团股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210004964.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的