[其他]放射线图像取得装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种放射线图像取得装置。

背景技术

历来，已知的有如下述专利文献1所记载的那样，将从X射线源产生而透过了摄像对象物的X射线照射到平板状的闪烁器，由层叠在闪烁器两面的固体光检测器检测在闪烁器发光的可见光（闪烁光），使从各固体光检测器输出的图像信号重叠而取得放射线图像的装置。在该装置中，使光检测元件耦合于闪烁器的X射线的入射面及其背面，在入射面侧的光检测元件与背面侧的光检测元件的各个中检测可见光，由此提高可见光的检测效率。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-27866号公报

实用新型内容

实用新型所要解决的问题

如上述那样在闪烁器的两面检测闪烁光的装置中，能够在入射面侧及其背面侧取得不同能量带的放射线图像，并使所谓的双能（dual-energy）的图像取得变得可能。

然而，上述现有的装置中，透过了对象物的放射线透过入射面侧的光检测元件而到达闪烁器，因而比较低能量带的放射线被入射面侧的光检测元件吸收。例如，在对象物由轻原子形成的情况下，透过了对象物的放射线有时会被入射面侧的光检测元件吸收。如此，存在透过了对象物的放射线会受到入射面侧的光检测元件的影响这样的问题。

因此，本实用新型的目的在于，提供一种放射线图像取得装置，其能够取得不同能量带的放射线图像，而且能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。

解决技术问题的手段

本实用新型的一个方式所涉及的放射线图像取得装置，其特征在于，具备：出射放射线的放射线源；对应于从放射线源出射并透过了对象物的放射线的入射而产生闪烁光的平板状的波长变换构件；对从波长变换构件的放射线的入射面沿着相对于入射面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第1摄像机构；以及对从波长变换构件的入射面的相反侧的面沿着相对于相反侧的面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像的第2摄像机构。

根据本实用新型的一个方式所涉及的放射线图像取得装置，从波长变换构件的放射线的入射面及其相反侧的面出射的闪烁光分别由第1摄像机构和第2摄像机构聚光并摄像。由此，实现取得不同能量带的放射线图像的双能摄像。这里，第1摄像机构由于对从入射面出射的闪烁光进行聚光，因此配置在与波长变换构件相离的位置。因此，能够做成摄像机构不介于对象物与波长变换构件之间的结构，能够避免摄像机构对透过了对象物的放射线产生影响那样的情形。因此，能够减小对透过了对象物的放射线产生的影响。此外，由第1摄像机构聚光的闪烁光沿着相对于入射面的法线方向倾向的方向出射，由第2摄像机构聚光的闪烁光沿着相对于相反侧的面的法线方向倾斜的方向出射，因而由任意一种摄像机构摄像的放射线图像均产生同样的透视倾斜（perspective）。因此，入射面侧和相反侧的面侧的图像间的校正等的运算会变得容易。

另外，可选地，第1摄像机构和第2摄像机构各自具有：对从波长变换构件出射的闪烁光进行聚光的聚光透镜部、以及对被聚光的闪烁光进行摄像的摄像部。在这种情况下，以焦点对准于波长变换构件的入射面和相反侧的面的各面的方式进行聚光，由此能够取得能量区别性良好且明亮的放射线图像。

这里，可选地，第1摄像机构和第2摄像机构配置成相对于波长变换构件而面对称。在这种情况下，在由第1摄像机构摄像的放射线图像、由第2摄像机构摄像的放射线图像中，会产生等量的透视倾斜。因此，在入射面侧和相反侧的面侧的图像间的运算中，不需要使图像反转来进行校正这样的运算，使运算更进一步地变得容易。

另外，可选地，由第1摄像机构聚光的闪烁光相对于入射面的法线方向的倾斜角度与由第2摄像机构聚光的闪烁光相对于相反侧的面的法线方向的倾斜角度彼此不同，还具备对由第1摄像机构摄像的图像和由第2摄像机构摄像的图像中的至少一者进行校正的校正机构。在这种情况下，由第1摄像机构摄像的图像与由第2摄像机构摄像的图像会产生彼此不同的透视倾斜。这里，通过校正机构对至少一个图像的透视倾斜进行校正而使两图像的透视倾斜情况相一致，由此实现高精度的双能摄像。

另外，可选地，对象物是半导体器件，上述放射线图像取得装置适用于以该半导体器件作为检查对象的半导体故障检查装置。在这种情况下，透过了成为检查对象的半导体器件的放射线不被摄像部（图像取得用的摄像元件）截断，因而，能够精度高地检测半导体器件的故障等。

实用新型的效果