[其他]放射线图像取得装置

权利要求书

1.一种放射线图像取得装置，其特征在于， 

具备： 

放射线源，出射放射线； 

平板状的波长变换构件，对应于从所述放射线源出射并透过了对象物的所述放射线的入射而产生闪烁光； 

第1摄像机构，对从所述波长变换构件的所述放射线的入射面沿着相对于所述入射面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像；以及 

第2摄像机构，对从所述波长变换构件的所述入射面的相反侧的面沿着相对于所述相反侧的面的法线方向倾斜的方向出射的闪烁光进行聚光并摄像。 

2.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述第1摄像机构和所述第2摄像机构各自具有： 

聚光透镜部，对从所述波长变换构件出射的所述闪烁光进行聚光；以及 

摄像部，对被聚光的所述闪烁光进行摄像。 

3.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述第1摄像机构的聚光透镜部使焦点对准于所述入射面，并对从所述入射面沿着相对于所述入射面的法线倾斜的方向出射的闪烁光朝向摄像部进行聚光。 

4.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述第2摄像机构的聚光透镜部使焦点对准于所述相反侧的面，并对从所述相反侧的面沿着相对于所述相反侧的面的法线倾斜的方向出射的闪烁光朝向摄像部进行聚光。 

5.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

由所述第1摄像机构聚光的闪烁光相对于所述入射面的法线方向 的倾斜角度，与由所述第2摄像机构聚光的闪烁光相对于所述相反侧的面的法线方向的倾斜角度，彼此相等。 

6.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述第1摄像机构和所述第2摄像机构配置成，相对于所述波长变换构件而面对称。 

7.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述第1摄像机构的聚光透镜部的光轴和所述第2摄像机构的聚光透镜部的光轴，以所述入射面的法线和所述相反侧的面的法线为基准，彼此位于相反侧。 

8.如权利要求1所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

由所述第1摄像机构聚光的闪烁光相对于所述入射面的法线方向的倾斜角度与由所述第2摄像机构聚光的闪烁光相对于所述相反侧的面的法线方向的倾斜角度彼此不同， 

还具备对由所述第1摄像机构摄像的图像和由所述第2摄像机构摄像的图像中的至少一者进行校正的校正机构。 

9.如权利要求1～8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述放射线源配置在所述入射面的法线上。 

10.如权利要求1～8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述放射线源以放射线的光轴相对于所述入射面的法线成规定角度的方式配置。 

11.如权利要求1～8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

从所述入射面到所述第1摄像机构为止的光路长与从所述相反侧的面到所述第2摄像机构为止的光路长相等。 

12.如权利要求1～8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述第1摄像机构和所述第2摄像机构以同时进行摄像的方式构成。 

13.如权利要求1～8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述对象物为半导体器件， 

适用于以该半导体器件作为检查对象的半导体故障检查装置。 

14.如权利要求1～8中的任一项所述的放射线图像取得装置，其特征在于， 

所述对象物是电子部件。