[其他]混合块件和CVD系统

权利要求书

1.一种混合块件，其特征在于，所述混合块件包含：

主体，所述主体由单独块体的材料形成；

一体成形混合结构，所述一体成形混合结构具有第一腔室与第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室被混合构件隔开，其中所述混合构件是所述主体的单一部件；

两个前驱物递送通口，所述前驱物递送通口形成于所述主体中并且耦接所述第一腔室；

公共出口通口，所述公共出口通口形成于所述主体中并且耦接所述第二腔室；以及

至少一个通路，所述通路形成于所述主体中以使温度控制流体得以流过所述主体。

2.如权利要求1所述的混合块件，其特征在于，所述第一腔室与所述第二腔室是由所述混合构件隔开的同心钻孔。

3.如权利要求1所述的混合块件，其特征在于，所述混合构件是材料的腹板。

4.如权利要求3所述的混合块件，其特征在于，所述材料的腹板具有偏位开口。

5.如权利要求1所述的混合块件，所述混合块件进一步包含：

一或多个加热器，所述加热器耦接所述主体。

6.如权利要求1所述的混合块件，其特征在于，所述递送通口经偏位以促进在所述第一腔室内的紊流式混合。

7.一种CVD系统，其特征在于，所述CVD系统包含：

处理腔室； 

混合块件，所述混合块件耦接所述处理腔室，所述混合块件包含：

主体；

混合结构，所述混合结构与所述主体一体成形，所述混合结构具有第一腔室与第二腔室，所述第一腔室与所述第二腔室被混合构件隔开，其中所述混合构件是所述主体的单一部件；

两个前驱物递送通口，所述前驱物递送通口形成为穿过所述主体并且耦接所述第一腔室，以用于分别递送至少一种预定流体；

公共出口通口，所述公共出口通口形成为穿过所述主体并且耦接所述第二腔室；以及

至少一个通路，所述通路形成于所述主体中，以使冷却流体得以流过所述混合块件；以及

风扇，所述风扇可经定位以冷却所述混合块件。

8.如权利要求7所述的CVD系统，其特征在于，所述第一腔室与所述第二腔室是由所述混合块件中的同心钻孔所形成，并且所述第一腔室与所述第二腔室被所述混合构件隔开。

9.如权利要求8所述的CVD系统，其特征在于，所述混合构件是材料的腹板。

10.如权利要求9所述的CVD系统，其特征在于，所述材料的腹板具有偏位开口。

11.如权利要求7所述的CVD系统，其特征在于，所述两个前驱物递送通口耦接TEOS源与氧源。

12.如权利要求7所述的CVD系统，其特征在于，所述递送通口经偏位以促进所述第一腔室内的紊流式混合。

13.如权利要求7所述的CVD系统，其特征在于，所述混合块件进一步包含一或多个加热器。