[发明专利]转印模具的制造方法、利用该方法制造的转印模具以及利用该转印模具制造的零件

权利要求书

1.一种转印模具的制造方法，其特征在于包括：

于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案的步骤，上述零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比，且上述零件形状的光致抗蚀剂图案的侧壁具有所期望的角度α；

借由电铸造来将上述零件形状的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止，以制造转印模具的步骤；以及

使上述转印模具离开上述金属基板，以制造母料模具的步骤。

2.一种转印模具的制造方法，其特征在于包括：

于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案的步骤，上述零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比，且上述零件形状的光致抗蚀剂图案的侧壁具有所期望的角度α；

借由电铸造来将上述零件形状的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止，以制造转印模具的步骤；

使上述转印模具离开上述金属基板，以制造母料模具的步骤；

自上述母料模具经由母模具，而转印制造子模具的步骤；以及

对上述子模具进行剥离层处理与绝缘层处理，以制造转印模具的步骤，上述剥离层处理使上述电铸造所形成的上述零件易于剥离，上述绝缘层处理于上述零件的形成部分以外的部分形成绝缘层。

3.根据权利要求1或2所述的转印模具的制造方法，其特征在于包含：

最初在上述金属基板的表面形成粗糙面化层的步骤。

4.一种转印模具的制造方法，其特征在于包括：

于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案的步骤，上述零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比，且上述零件形状的光致抗蚀剂图案的侧壁具有大致为90°的角度；

借由电铸造来将上述零件形状的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止，以制造转印模具的步骤；

使上述转印模具离开上述金属基板的步骤；

进行光致抗蚀剂加工的步骤，使得光致抗蚀剂图案层残留于：已离开的上述转印模具上的除了经转印的零件部分之外的部分；以及

以使上述零件形状的侧壁的角度为大致90°至不足90°的任意的角度的方式，来将上述光致抗蚀剂图案层作为保护层、且进行射束加工，以制造母料模具的步骤。

5.一种转印模具的制造方法，其特征在于包括：

于金属基板上形成零件形状的光致抗蚀剂图案的步骤，上述零件形状的光致抗蚀剂图案具有所期望的纵横比，且上述零件形状的光致抗蚀剂图案的侧壁具有大致为90°的角度；

借由电铸造来将上述零件形状的光致抗蚀剂图案完全填埋、直至达到规定的厚度为止，以制造转印模具的步骤；

使上述转印模具离开上述金属基板的步骤；

进行光致抗蚀剂加工的步骤，使得光致抗蚀剂图案层残留于：已离开的上述转印模具上的除了经转印的零件部分之外的部分；

以使上述零件形状的侧壁的角度为大致90°至不足90°的任意的角度的方式，来将上述光致抗蚀剂图案层作为保护层、且进行射束加工，以制造母料模具的步骤；

自上述母料模具经由母模具，而转印制造子模具的步骤；以及

对上述子模具进行剥离层处理与绝缘层处理，以制造转印模具的步骤，上述剥离层处理使上述电铸造所形成的上述零件易于剥离，上述绝缘层处理于上述零件的形成部分以外的部分形成绝缘层。

6.根据权利要求4或5所述的转印模具的制造方法，其特征在于包含：

最初在上述金属基板的表面形成粗糙面化层的步骤。

7.一种母料模具，其特征在于：

借由根据权利要求1、3、4、6中任一所述的转印模具的制造方法来制造，

上述母料模具的剖面具有所期望的纵横比，且上述母料模具的侧壁的角度为45°～88°。

8.一种转印模具，其特征在于：

借由根据权利要求2、3、5、6中任一所述的转印模具的制造方法来制造。

9.一种零件，借由电铸造来制造，其特征在于：

使用根据权利要求8所述的转印模具，借由上述电铸造来转印制造。