[发明专利]螺旋探针及其制造方法

权利要求书

1.一种螺旋探针，其特征在于，包括：

前端部，该前端部与被检查物直接接触并呈尖细形状；

前端侧主体部，该前端侧主体部自所述前端部的根部起在一个方向上延伸，并大致呈中空圆筒形状；

弯曲部，该弯曲部与所述前端侧主体部连续并一体地在所述一个方向上延伸，并且具有外周面形成为螺旋状的大致中空圆筒形状；以及

基端部，该基端部与所述弯曲部连续并一体地在所述一个方向上延伸，且大致呈中空圆筒形状，

所述前端侧主体部、所述弯曲部以及所述基端部的外周面沿着所述一个方向一致排列。

2.如权利要求1所述的螺旋探针，其特征在于，

所述前端部、所述前端侧主体部、所述弯曲部以及所述基端部均由相同材料制成，

该材料为镍、或包含镍或钴的金合金、或在镍膜上层叠有金膜的双层材料、或镍锡合金。

3.一种用于制造权利要求1所述的螺旋探针的制造方法，其特征在于，

将由金属制的细线构成的细线构件的除一个端部以外的部分浸渍到镀液中来实施镀敷处理，由此形成前端侧的端部封闭的大致呈圆筒形状且外周面一致排列的镀层，

通过机械加工在所述镀层的封闭的前端侧的端部形成所述前端部，

将一部分该镀层去除来形成所述弯曲部，从而形成所述前端侧主体部以及所述基端部，

在具有所述前端侧主体、所述弯曲部以及所述基端部的状态下将所述细线构件浸渍到蚀刻液中，从而使所述细线构件全部溶解。

4.如权利要求3所述的制造方法，其特征在于，

所述细线构件的另一端部为尖细形状。

5.如权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述镀层的去除通过激光加工来进行。