[发明专利]带有热交换器的热扩散腔室

说明书

背景技术

一种太阳能产生的形式依赖于太阳电池板，太阳电池板继而依赖于选定材料到基板上的扩散。在一示例中，玻璃用作基板，其向气态硒化物物种暴露以在基板上形成含铜、铟和硒化物的膜。已知气态硒化物物种对人有毒，这强调了谨慎的处置方法，包括热调节系统。

这样，能以高效且可靠方式排除气态硒化物物种从处理腔室内向大气迁移和泄露的热调节系统可显著地改进向基板提供在基板内扩散的含铜、铟和硒化物的膜中所使用的热腔室的操作和生产输出。

因此，存在着对于对热扩散腔室的处理腔室进行热调节的有所改进的机构和方法的持续需要。

发明内容

本公开涉及一种热扩散腔室并且特定而言涉及一种用于控制热扩散腔室装备/器械的处理腔室的内外温度的热控制系统和方法。

根据各种示例性实施例，框架支承着一种包含腔室或存放腔室（containment）并且存放腔室约束着一种密封的处理腔室。热源模块安置于存放腔室与处理腔室之间；至少一个流体入口箱与密封处理腔室的外部成流体连通，流体入口箱包括至少一种流动调整结构以控制流体绕密封处理腔室外部的流动。热传感器安置于密封处理腔室内部并且定位成与密封热腔室的壁接触相邻；热传感器测量了密封处理腔室的内部温度值。

优选地，控制器与流动调整结构和热传感器相连通，控制器设置流动调整结构的流动位置以响应于密封处理腔室的所测量内部温度值来调节流体从流体源通过流体入口箱并且围绕密封处理腔室外部的流动。

在一替代示例性实施例中，形成热扩散腔室的方法包括至少以下步骤：提供框架；在框架上支承着存放腔室；将热源模块安置于存放腔室内；以及将密封处理腔室约束于热源模块内。优选地，该方法还包括以下步骤：将至少一个流体入口箱牢固固定成与密封处理腔室外部成流体连通，流体入口箱包括至少一种流动调整结构以控制流体从流体源围绕密封处理腔室外部的流动；将热传感器安置于密封处理腔室内，热传感器测量密封处理腔室的内部温度值；以及将控制器连接到流动调整结构和热传感器中的每一个，控制器优选地设置流动调整结构的流动位置以响应于密封处理腔室的所测量内部温度值来调节流体从流体源通过流体入口箱并且围绕密封处理腔室外部的流动。

根据各种替代示例性实施例，框架支承着存放腔室并且存放腔室约束着密封处理腔室，并且热源模块安置于存放腔室与密封处理腔室之间。优选地，第一流体处置系统与密封处理腔室的外部环境成流体连通；并且第二流体处置系统与密封处理腔室的内部成流体连通；并且优选地，控制系统与第一流体处置系统和第二流体处置系统中的每一个连通。控制系统优选地响应于由与处理腔室相连通的热传感器所提供的密封处理腔室的测量温度值来设置了围绕密封处理腔室的外部而流动的第一流体的第一流率。进一步优选地，控制系统还响应于密封处理腔室的测量温度来进一步设置了释放到密封处理腔室内部的第二流体的第二流率。

或者，形成热扩散腔室的方法包括至少以下步骤：提供框架；在框架上支承着存放腔室；将热源模块安置于存放腔室内；以及将密封处理腔室约束于热源模块内。进一步优选地，该方法包括以下步骤：将第一流体处置系统固结成与密封处理腔室的外部成流体连通；将第二流体处置系统定位成与密封处理腔室的内部成流体连通；以及将控制系统连接到第一流体处置系统和第二流体处置系统中的每一个，控制系统响应于由与处理腔室连通的热传感器所提供的密封处理腔室的测量温度值来设置了围绕密封处理腔室的外部而流动的第一流体的第一流率，控制系统还响应于密封处理腔室的测量温度来设置了释放到密封处理腔室内部的第二流体的第二流率。

在一替代实施例中，一种热扩散腔室包括：至少一种支承着存放腔室的框架，其中，密封处理腔室被约束于存放腔室内；热源模块安置于存放腔室与处理腔室之间；流体处置系统与密封处理腔室的外部成流体连通；闭环热交换系统与密封处理腔室的内部成流体连通；以及控制系统与流体处置系统和闭环热交换系统中的每一个连通。控制系统响应于密封处理腔室的测量的内部温度来设置了围绕密封处理腔室外部而流动的第一流体源的第一流体的流率，并且还响应于密封处理腔室的测量的内部温度来设置了通过闭环热交换系统而流动的第二流体的流率。