[发明专利]真空泵的旋转体、与其相对设置的固定部件以及具备它们的真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及真空泵的旋转体、与其相对设置的固定部件以及具备它们的真空泵，该真空泵的旋转体用作排空例如半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能电池板制造装置中的工艺腔或其它密闭腔内的气体的装置，特别是能够同时实现排气性能的提高和能够连续排气的气体流量(＝最大流量)的提高。

背景技术

一直以来，作为这种真空泵，例如，已知有专利文献1所记载的复合型涡轮分子泵。如根据同一文献1的图1、其权利要求1和段落0012～0013的记载所了解的，该复合型涡轮分子泵具备：涡轮分子泵部(2)，作为通过旋转叶片(2a)和固定叶片(2b)的相互作用将气体排出的叶片排气部；以及螺纹槽泵部(3)，通过螺纹槽(7a)将气体排出。涡轮分子泵部(2)的转子(4a)为铝合金制，螺纹槽泵部(3)的转子(6)为CFRP(carbon fiber reinforced plastics，纤维强化塑料)制。

可是，由于如先前说明的专利文献1那样的由涡轮分子泵部(2)和螺纹槽泵部(3)构成的复合分子泵由轻质且强度高的纤维强化塑料材料形成螺纹槽泵部(3)的转子(6)，因而与由铝合金形成该部分的转子相比，通过提高转子(6)的转速或扩大转子(6)的直径，能够使转子(6)的圆周速度提高且提高螺纹槽泵部(3)的排气能力。

然而，在如上所述使转子(6)的圆周速度提高的情况下，由于在螺纹槽泵部(3)中转子(6)的圆周速度达到接近排出气体的声速的速度，因而由于因在螺纹槽泵部(3)中排出的气体与转子(6)的摩擦而产生的热(摩擦热)，转子(6)的温度上升，作为转子(6)的构成材料的CFRP超过其容许温度，由此，产生CFRP材料强度降低或转子(6)因CFRP材料的热转变而变得易于脆裂等耐热性的问题。因此，在通过转子(6)的圆周速度提高而将排气性能提高的泵中，难以实现在与排气性能的提高同时谋求最大流量的提高。

积聚于前述转子(6)的热一般通过经由排出气体的热传导(第1放热途径)、经由转子(6)的轴承的热传导(第2放热途径)、以及从转子(6)表面的辐射(第3放热途径)而放热，但是在采用磁轴承等非接触轴承作为转子(6)的轴承的情况下，不能指望经由前述第2放热途径的转子(6)的放热。另外，经由前述第1放热途径的转子(6)的放热也根据排出气体的种类而几乎不能指望。

所以，在如上所述采用非接触轴承作为转子(6)的轴承的情况下的该转子(6)的放热主要经由前述第3放热途径。但是，作为转子(6)的构成材料的CFRP有以下倾向：与作为涡轮分子泵部(2)的转子(4a)或旋转叶片(2a)的构成材料的铝合金相比，热导率更低且温度分布容易产生。特别是，在采用如上所述提高转子(6)的转速或者扩大转子(6)的直径的构成的情况下，接近在螺纹槽泵(3)中压力较高且与气体的摩擦较大的排气口(8)的转子(6)下端部周边由于前述摩擦热所致的高温化而变得容易破裂。

此外，前述括号内的符号为在专利文献1中使用的符号。

专利文献1：日本专利第3098139号公报。

发明内容

发明要解决的问题。

本发明是为了解决前述问题而做出的，其目的在于，提供真空泵的旋转体、与其相对设置的固定部件以及具备它们的真空泵，该真空泵的旋转体适于获得同时实现排气性能的提高和最大流量的提高的可靠性高的真空泵。

用于解决问题的技术方案。

为了达成前述目的，本发明所涉及的真空泵的旋转体为一部分或全部由纤维强化塑料构成且通过旋转而排出气体的真空泵的旋转体，其特征在于，前述旋转体在作为其基材的纤维强化塑料部上设有耐蚀处理层，在该耐蚀处理层上设有辐射率比该耐蚀处理层高的高辐射率层。

在前述本发明所涉及的真空泵的旋转体中，前述高辐射率层也可由氧化膜层或DLC层构成，该氧化膜层是使在前述耐蚀处理层上形成的金属覆膜的表面氧化而成的，该DLC层是在前述耐蚀处理层上实施DLC涂层处理而形成的。

本发明所涉及的与真空泵的旋转体相对设置的固定部件为真空泵的固定部件，其与一部分或全部由纤维强化塑料构成的真空泵的旋转体的内周面或外周面相对，并且在与该旋转体之间形成用于排出气体的螺旋状的螺纹槽排气流路，其特征在于，在与前述旋转体的纤维强化塑料部相对的前述固定部件的相对面，设置辐射率比该固定部件的基材高的高辐射率层。