[发明专利]真空泵的旋转体、与其相对设置的固定部件以及具备它们的真空泵在审
| 申请号： | 201180065499.9 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103299083A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 野中学 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 肖日松;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空泵 旋转体 与其 相对 设置 固定 部件 以及 具备 它们 | ||
1. 一种真空泵的旋转体，为一部分或全部由纤维强化塑料构成且通过旋转而排出气体的真空泵的旋转体，其特征在于，所述旋转体在作为其基材的纤维强化塑料部上设有耐蚀处理层，在该耐蚀处理层上设有辐射率比该耐蚀处理层高的高辐射率层。
2. 根据权利要求1所述的真空泵的旋转体，其特征在于，权利要求1所述的高辐射率层由氧化膜层或DLC层构成，所述氧化膜层是使在所述耐蚀处理层上形成的金属覆膜的表面氧化而成的，所述DLC层是在所述耐蚀处理层上实施DLC涂层处理而形成的。
3. 一种与真空泵的旋转体相对设置的固定部件，为真空泵的固定部件，其与一部分或全部由纤维强化塑料构成的真空泵的旋转体的内周面或外周面相对，并且在与该旋转体之间形成用于排出气体的螺旋状的螺纹槽排气流路，其特征在于，在与所述旋转体的纤维强化塑料部相对的所述固定部件的相对面，设置辐射率比该固定部件的基材高的高辐射率层。
4. 一种与权利要求1所述的真空泵的旋转体相对设置的固定部件，其特征在于，权利要求3所述的高辐射率层由氧化膜层或涂装膜层构成，所述氧化膜层是使作为所述固定部件的基材的铝合金的表面氧化而成的，所述涂装膜层是用辐射率比所述基材的铝合金高的材料涂装所述固定部件的表面而形成的。
5. 一种真空泵，其特征在于，具备权利要求1所述的旋转体。
6. 一种真空泵，其特征在于，具备权利要求3所述的旋转体和固定部件。
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