[发明专利]层叠体的制造方法

权利要求书

1.一种层叠体的制造方法，其包括对层叠体块进行加工而得到层叠体的加工工序，所述层叠体块具有基板和对该基板进行加强的加强板，

所述加强板由以能够剥离的方式与所述基板结合的树脂层和隔着该树脂层支撑所述基板的支撑板构成，

所述层叠体块以支撑板的外形和树脂层的外形分别大于基板的外形的方式形成，

所述加工工序包括：切割所述层叠体块中的所述支撑板和所述树脂层的各自的外周部，从而使所述支撑板、所述树脂层与所述基板的各自的外周边缘的整体或者局部平齐的切割工序。

2.根据权利要求1所述的层叠体的制造方法，其中，在所述切割工序的至少一部分中，用载物台支撑所述层叠体块的所述基板的主面，并且使所述层叠体块的所述基板的外周边缘与设置在所述载物台上的定位块抵接。

3.根据权利要求1或2所述的层叠体的制造方法，其中，所述支撑板由脆性材料制成，

在所述切割工序中，在所述层叠体块的所述支撑板的表面形成切线后，沿着该切线将所述层叠体块的所述支撑板和所述树脂层的各自的外周部割断。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的层叠体的制造方法，其中，所述加工工序还包括对切割所述层叠体块而得到的所述层叠体的外周部进行倒角的倒角工序。

5.根据权利要求4所述的层叠体的制造方法，其中，所述加工工序还包括对通过倒角而得到的所述层叠体的基板进行表面研磨的研磨工序。