[发明专利]放射线图像检测装置及其制造方法

权利要求书

1.一种放射线图像检测装置，包括：

闪烁器面板，所述闪烁器面板包括荧光体，所述荧光体形成在支持体上并且通过放射线的照射发出荧光；以及

光检测器，所述光检测器将由所述荧光体发出的荧光作为电信号来检测，

其中，所述荧光体包括柱状部和非柱状部，所述柱状部通过使荧光物质的晶体以柱状生长而形成，所述非柱状部设置在所述柱状部与所述支持体之间并且具有比所述柱状部的孔隙率低的孔隙率，并且

其中，所述闪烁器面板沿放射线行进方向被布置在所述光检测器的后侧，并且非柱状部被布置在所述荧光体中与所述光检测器侧相对的一侧处。

2.根据权利要求1所述的放射线图像检测装置，其中，所述非柱状部包括所述荧光物质的晶体为基本球形或不定形的非柱状晶体的群，并且

包括在所述非柱状部中的所述非柱状晶体中的至少一些在与所述非柱状部的厚度方向以直角相交的面内方向上相互融合。

3.根据权利要求1或2所述的放射线图像检测装置，其中，所述非柱状部的孔隙率是10%或以下。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，在所述非柱状部中的与所述支持体邻接的部分的孔隙率是0或基本0。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，包括在所述非柱状部中的非柱状晶体的直径小于包括在所述柱状部中的柱状晶体的直径。

6.根据权利要求5所述的放射线图像检测装置，其中，包括在所述非柱状部中的所述非柱状晶体的直径不小于0.5μm且不大于7.0μm。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述非柱状部的从所述支持体的表面起的厚度不薄于5μm或以上且不厚于125μm。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述非柱状部的孔隙率在所述非柱状部的从所述支持体的表面起的厚度方向上具有梯度。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，在所述柱状部和所述非柱状部中，至少所述柱状部被形成为包括CsI和T1。

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述荧光体在与设置所述非柱状部的一侧相对的一侧处还包括另一个非柱状部。

11.根据权利要求1至10中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，驱动并控制所述光检测器的控制单元被设置在所述闪烁器的与放射线入射侧相对的一侧处。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述放射线图像检测装置被构成为便携式盒。

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的放射线图像检测装置，其中，所述荧光体通过气相沉积方法形成在所述支持体上。

14.一种制造如在权利要求1至3中的任一项中所述的放射线图像检测装置的方法，所述方法包括：

通过气相沉积方法沉积所述荧光物质的晶体以将所述荧光体的所述柱状部和所述非柱状部形成在所述支持体上；以及

改变在形成所述柱状部时的真空度、所述支持体的温度和沉积速率的条件当中的至少一个条件来形成所述非柱状部。

15.根据权利要求14所述的制造放射线图像检测装置的方法，其中，所形成的荧光体的在所述柱状部的沉积方向上的前端侧部和所述光检测器被放置成彼此相对并且彼此紧密接触。

16.根据权利要求14所述的制造放射线图像检测装置的方法，其中，所形成的荧光体的在所述柱状部的沉积方向上的前端侧部和所述光检测器被放置成通过树脂层彼此相对地光耦合到彼此。