[发明专利]具有减小的偏振相关损耗的硅基光电集成电路

说明书

相关申请信息

本申请要求通过引用并入在此的2010年12月15日提交的美国临时申请61/423,432的优先权。

技术领域

本发明涉及硅基光电集成电路(silicon-based opto-electronic integrated circuit)，更具体而言涉及具有减小的偏振相关损耗(polarization dependent loss)的光电集成电路。

背景技术

包括光纤和光电器件的光网络是高速通信系统的一个重要方面，尤其是因为其允许在网络系统中的各种组件之间高效、准确且迅速地传输数据的能力。与大多数通信系统一样，光网络中对空间和功率的高效使用具有越来越高的重要性。另外，这种网络的设计考虑必须考虑到网络中包括的特定组件的模块化。

确实，模块化组件在光纤系统中对于减小制造系统的成本是合乎需要的，而该成本随着系统变得更定制化而增大。这是基于绝缘体上硅(SOI)的光组件正变成优选替换方案的至少一个原因，其中诸如激光器、光电二极管、有源光器件和无源光器件之类的光元件与相关联的光波导被安装在同一SOI衬底上(或集成在同一SOI衬底内)。在一些情况下，用于控制有源光器件的电集成电路(IC)与光器件一起被安装在共同的SOI衬底上/集成在共同的SOI衬底内。

模块化组件的一个示例是光接收器模块，其也可以是整个光收发器组合件(包括光发送器模块和光接收器模块两者)的一部分，或者还包括波分复用/解复用的光转换器。典型的光接收器模块包括用于光纤(或其他光传播布置)的输入端口/信道、用于检测传入的光信号的光电二极管，以及用于将光信号转换成与其他网络组件兼容的数字电信号的感测电路，其中硅基光波导被用于互连这各种组件。

虽然这种模块化组件在与分立的元件布置相比时在降低成本方面表现出巨大改善，但仍有一个问题在于模块中利用的硅基光波导遭受偏振相关损耗。也就是说，硅波导的TE(横电波)和TM(横磁波)模式的传播常数是不同的，并且沿着波导传播的混合偏振的光信号在一个偏振模式中相对于另一偏振模式将经历更大程度的衰减。

为了克服该损耗，偏振分集光器件经常被用于沿着两个分开的偏振维持波导分割光信号，其中TE模式信号被保持沿着第一波导，并且TM模式信号被重定向为沿着第二波导以与TE模式对齐。很明显，对引入偏振分集光器件的需要增加了最终组合件的成本。

从而，仍存在减小与对模块化光组件的利用相关联的偏振相关问题的需要。

发明内容

本发明通过策略性地将光电检测器件放置得尽可能靠近光信号进到光电电路布置中的进入点，解决了与光电电路布置中的光波导相关联的偏振相关损耗问题。虽然传入光信号将包括TE和TM模式两者，通过使信号在到达光电检测器件之前必须沿其传播的光波导路径的长度最小化，与TM模式信号相关联的衰减将可忽略。

在一个实施例中，本发明包括一种硅基光电电路，其形成在硅衬底上并且至少包括光接收组件，该电路包括：在硅衬底中形成的光波导，用于接收传入的光信号，该光信号表现出横电波(TE)和横磁波(TM)成分两者；以及毗邻光波导部署的光电检测器件，用于捕捉接收到的光信号并将接收到的光信号转换成电等同物，其中光波导被配置为具有短长度，使得与接收到的光信号的TM成分相关联的偏振相关损耗可忽略(例如，可能小于1dB，或者小于在维持充分的信号完好性的同时对信号变化的最大可允许系统级容限)。

在一个实施例中，混合偏振光信号沿其传播的相对短波导包括耦合方案，该耦合方案包括纳米锥耦合终端，在该处信号被引入到硅衬底。纳米锥耦合终端可被利用来改善传入信号与波导之间的耦合效率。然而，一般地，可以使用任何适当类型的耦合方案。此外，还可能从与用于形成光电检测器件的材料相同的材料制作相对短的波导，从而组合了耦合和光电检测的功能。

本发明的其他和进一步的方面和优点在以下论述的过程中通过参考附图将变得清楚。

附图说明

现在参考附图，

图1示出了现有技术的光电集成电路，包括电路的入口与光电检测器件之间的相对长的光波导信号路径；

图2是对于沿着硅光波导传播的光信号，作为长度的函数的TM和TE损耗的图；

图3是根据本发明形成的布置的顶视图，其中光电检测器件被定位来在光信号仅传播过较短长度的光波导之后拦截光信号；并且

图4是根据本发明形成的短长度光波导和光电检测器件的组合的放大视图。

具体实施方式