[发明专利]分光传感器

权利要求书

1.一种分光传感器，其特征在于，

具备：

多个干涉滤波部，具有腔体层以及经由所述腔体层而相对的第1和第2镜面层，并使规定的波长范围的光根据入射位置选择性地透过；

光透过基板，配置在所述第1镜面层侧，使入射至所述干涉滤波部的光透过；以及

光检测基板，配置在所述第2镜面层侧，检测透过了所述干涉滤波部的光，

所述第2镜面层，在每个所述干涉滤波部被分离，

所述腔体层遍及所述干涉滤波部的各个而一体地形成，所述腔体层的一部分进入相邻的所述第2镜面层间的区域。

2.根据权利要求1所述的分光传感器，其特征在于，

所述第1镜面层在每个所述干涉滤波部被分离，

用于在所述第1镜面层上接合所述光透过基板的光学树脂层，进入相邻的所述第1镜面层间的区域。

3.根据权利要求1或2所述的分光传感器，其特征在于，

还具备：以与所述第1镜面层相对的方式形成在所述光透过基板上，并使所述规定的波长范围的光透过的光学滤波层。