[发明专利]树脂组合物、绝缘膜、膜形成方法及电子部件有效
| 申请号: | 201180056090.0 | 申请日: | 2011-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN103221483A | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
| 发明(设计)人: | 冈庭求树;宇野高明;冈田敬 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
| 主分类号: | C08L71/10 | 分类号: | C08L71/10;H01L21/312 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 左嘉勋;顾晋伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 树脂 组合 绝缘 形成 方法 电子 部件 | ||
技术领域
本发明涉及树脂组合物、绝缘膜、膜形成方法及电子部件。
背景技术
近年来信息技术的发展惊人,随着信息器件的轻薄短小化的趋势,透明树脂作为光学材料用于各种用途。作为代表性的透明树脂,可举出PMMA、聚碳酸酯等。这些PMMA、聚碳酸酯虽然透明性优异,但玻璃化温度低,耐热性不够,因而难以在要求高耐热性的用途中使用。
而伴随着技术的进步,工程塑料的用途扩展,要求耐热性、机械强度优异且透明性优异的聚合物。
作为耐热性、机械强度优异且透明性优异的聚合物,提出了使9,9-双(4-羟基苯基)芴、各种双酚类和2,6-二卤化苯甲腈反应而得到的芳香族聚醚(专利文献1和2)。
专利文献
专利文献1:日本特开2007-246629号公报
专利文献2:日本特开平2-45526号公报
发明内容
然而,含有这些芳香族聚醚的树脂组合物有时形成膜时与基板的润湿性差(凹陷(はじき))、所得膜产生白浊、皲裂。而且,由于在上述现有技术文献中使用卤化烃作为成膜时的溶剂,因此对环境的负荷大,有时由成膜中溶剂的分解而导致形成的膜质量较差。
本发明是鉴于上述问题点而完成的,目的在于,提供能够形成与基板的润湿性优异、难以产生白浊、皲裂的膜的树脂组合物及使用该组合物的膜形成方法。而且目的在于,通过使用非卤素系溶剂而提高对人体 的安全性,并且减少由成膜中溶剂的分解而导致的膜质降低。
本发明人为了解决上述课题而深入研究,结果发现,利用含有特定芳香族聚醚系聚合物(I)和特定溶剂(Ⅱ)的树脂组合物,能够实现上述课题,从而完成了本发明。
即,本发明提供以下[1]~[15]。
[1]一种树脂组合物,含有聚合物和有机溶剂,所述聚合物具有选自下述式(1)表示的结构单元和下述式(2)表示的结构单元中的至少一个的结构单元(i),所述有机溶剂为选自醚系溶剂、酮系溶剂、酯系溶剂以及酰胺系溶剂中的至少一种。
(式(1)中,R1~R4各自独立地表示碳原子数1~12的1价有机基团,a~d各自独立地表示0~4的整数。)
(式(2)中,R1~R4和a~d各自独立地与上述式(1)中的R1~R4和a~d定义相同,Y表示单键、-SO2-或>C=O,R7和R8各自独立地表示卤原子、碳原子数1~12的1价有机基团或硝基,g和h各自独立地表示0~4的整数,m表示0或1。其中,m为0时,R7不为氰基。)
[2]根据[1]所述的树脂组合物,其中,上述有机溶剂含有选自酮系溶剂、酯系溶剂和醚系溶剂中的至少一种有机溶剂、以及酰胺系溶剂。
[3]根据[1]或[2]所述的树脂组合物,其中,酮系溶剂是碳原子数4~10的酮类。
[4]根据[1]~[3]中任一项所述的树脂组合物,其中,上述酯系溶剂是碳原子数3~10的酯类。
[5]根据[1]~[4]中任一项所述的树脂组合物,其中,上述醚系溶剂是碳原子数3~10的醚类。
[6]根据[1]~[5]中任一项所述的树脂组合物,其中,上述酰胺系溶剂是碳原子数3~10的酰胺类。
[7]根据[1]~[6]中任一项所述的树脂组合物,其中,上述有机溶剂含有相对于全部有机溶剂100质量份为5~95质量份的酰胺系溶剂。
[8]根据[1]~[7]中任一项所述的树脂组合物,其中,上述树脂组合物中的聚合物浓度为3~40质量%。
[9]根据[1]~[8]中任一项所述的树脂组合物,其中,上述聚合物进一步具有选自下述式(3)表示的结构单元和下述式(4)表示的结构单元中的至少一个的结构单元(ii)。
(式(3)中,R5和R6各自独立地表示碳原子数1~12的1价有机基团,Z表示单键、-O-、-S-、-SO2-、>C=O、-CONH-、-COO-或碳原子数1~12的2价有机基团,e和f各自独立地表示0~4的整数,n表示0或1。)
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