[发明专利]辐射装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种辐射装置，该辐射装置拥有壳体，该壳体则具有内部空间和布置在所述内部空间中的红外线辐射器，所述红外线辐射器具有由含高硅酸的玻璃制成的拥有圆形横截面和预先给定的外直径的辐射器管，具有布置在其中的带状的或者螺旋状的加热丝，所述加热丝设有由金属的材料制成的电的连接元件，所述电的连接元件通过密封件从所述辐射器管中伸出来，其中所述辐射器管端部的至少一个辐射器端部延伸到外部空间中，所述外部空间通过在外面抵靠在所述辐射器管上的密封元件在流体上与所述内部空间分开。

背景技术

这样的辐射装置从DE 10 2008 063 677 A1中得到公开。对于该辐射装置来说，红外线辐射器布置在真空过程室中。辐射器管端部从所述真空过程室中伸出来，其中为了对所述真空过程室进行密封而设置了O环。在所述辐射器管的内部布置了加热螺旋丝，所述加热螺旋丝的供电线路在两侧通过构造为夹套（Quetschung）的形式的气密的密封件伸出来，所述夹套具有围在其中的钼箔。

所述夹套在原则上是不利的。所述夹套的制造十分麻烦，并且如下面还要详细解释的一样所述夹套限制了所述红外线辐射器的使用寿命及其功率。

为制造所述夹套，要使用挤压机，所述挤压机比如具有两个围绕着有待挤压的石英玻璃管旋转的燃烧器和两个彼此对置的挤压钳嘴。一旦所述石英玻璃管软化，就停止燃烧器旋转，使得所述挤压钳嘴从所述燃烧器的旁边朝所述石英玻璃管运动并且将其压紧，用于将放入其中的钼箔以及在两侧伸出的连接销围在所述夹套中。

所述夹套拥有一定的纵向伸长，该纵向伸长从所述箔的长度中并且在所述钼箔的两侧从用于石英玻璃密封的区域中产生；所述夹套的典型的长度是25到40mm。在实际上，难以精确对齐地设置所述夹套的金属的构件也就是所述两侧的连接销以及所述金属箔，或者难以将向外伸出的金属销精确地固定在当中。鉴于此，应该较宽地给安置在外面的接头线或者管座规定公差，或者说相应的管座支架或者插座必须拥有数mm的公差。这使得用于这样的辐射器的节省空间的、精确的插座或者触点变得困难。

对于辐射装置来说，经常提出这样的任务，即比如如果要在内部空间中维持较高的温度或者压差或者如果在其中出现不应该到达环境中的气体或液体，那就要相对于环境对所述内部空间进行密封。在所述红外线辐射器穿透室壁的情况中，同样应该在穿透位置上设置密封件。在这种情况，由于所述夹套而能够觉察到其它问题。

·在使所述夹套成形时，该夹套变得比所述石英玻璃管的外直径宽。这种效应虽然可以在容忍所述石英玻璃管的较高的变形程度的情况下加以避免，但是这在制造中导致更高的废品率。因此，设置在所述包套管的外圆周上的密封件通常具有间隙，以便能够让稍许宽一些的夹套通过。

·所述石英玻璃管的在夹套端部上的巨大的塑性变形-即使以快速减小的尺度-也朝管子中心的方向延续。但是，所述石英玻璃管的外圆周上的密封在最简单的情况下用变形少的尽可能圆形的外圆周来进行。因此，所述石英玻璃管的变形的区域不能进入到反应器室中，这意味着有效的辐射器长度的损失。

·此外，红外线辐射器的功率取决于内压。但是，夹套经受不住较高的比如大于10⁸Pa的运行内压，对于大于10⁵Pa的填充压力来说在冷的状态中（环境温度）产生所述较高的运行内压。

关于相对于过程室的密封，对于具有含卤素的填充气体的红外线辐射器来说产生另外的困难。所述含卤素的填充气体用于抵制钨的汽化并且由此抑制使用寿命的缩短。但是，在此在所述红外线辐射器的内部的温度在运行中不得低于250℃，因为否则会出现钨卤化物的冷凝。在这方面，特别受损害的是辐射器管的端部。为了在这里抵制过度冷却，致力于特别短的辐射器管端部，所述特别短的辐射器管端部将较高的温度一直导引到所述辐射器管端部。但是所述较高的温度阻碍塑料密封件的在这个区域中的使用并且此外危害所述夹套的使用寿命，因为所述钼箔在其持久地暴露在250℃以上的温度下时会受侵蚀。

此外，红外线辐射器的功率通过所述夹套的较小的电流负载能力受到限制。尤其对于真空中的运用情况来说，有利的是实现比通常的12A到20A高的电流，其中在真空中最大的电压为避免火花放电而大受限制。

发明内容

技术任务