[发明专利]用于分离式电子器件的载体以及分离式电子器件的目视检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于分离式电子器件的载体以及一种用于对分离式电子器件的进行目视检查的方法。

背景技术

在制造电子器件，更具体地例如制造半导体产品的过程中，这些器件通常与在其中生产出这些电子器件的较大电子器件单元相分离（也称作单件化或分割）。这种较大电子器件组件的例子可为条、板或圆片，其中很多可选地封装的电子器件被拼合在一起成为整体。在这些电子器件的后续分离（也称作脱离、单件化或个体化）过程中，相对其他方法，运用较为传统的机器加工工艺，例如液体喷射切割或激光切割的锯切和研磨。然后通常将分离式电子器件置于载体之上或载体之内。利用该载体作为产品载体，即可将分离式电子器件输送到一个或多个后续加工工位。分离后的一个特定工序为目视检查，其中会对这些器件的外径和其他方面进行检查。根据现有技术，将这些分离式电子器件放置在金属载板上，然后使该载板移位经过一相机系统（视觉系统），这样使得能够通过该相机产生这些分离式电子器件的图像记录。这就能够例如根据质量，例如像通过移除偏离标准的分离式电子器件，来选择这些分离式电子器件。现有的分离式电子器件检查方法的缺点在于，例如由于这些器件在目视检查过程中产生分散注意力的亮度，因此这些检查方法具有有限的精度。现有的用于分离式电子器件的载体的另一个问题是，可能出现非受控的静电电荷（静电放电，ESD），这可能损害到通常具有极高灵敏度的电子器件。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种用于分离式电子器件的载体，从而与现有技术相比降低因ESD导致浪费的可能性。

本发明的另一个目的是提供一种用于分离式电子器件的载体和目视检查方法，从而提高目视检查的质量。

为此目的，本发明提供了一种设有用于分离式电子器件的夹持器的平坦载体，该载体包括：一平坦金属平台，其设有凹入该平坦金属平台内的空间，该凹入空间对该平坦金属平台的多个平坦侧边之一是开放的；以及一环氧树脂载体结构，该结构以形式配合的方式设置在该凹入空间内，其中这些用于分离式电子器件的夹持器是由该载体结构的环氧树脂形成的。该构造的优点在于，该组装结构由于金属平台而具有高度保形性，而且该金属平台使该载体坚固并因此耐用。然而该坚固性还结合有利用该环氧树脂载体结构而获得的优点。这些优点为，由于在选择环氧树脂上的自由度以及在选择环氧树脂接触层的精整加工上的自由度，因此可在这些待夹持的分离式电子器件与该环氧树脂之间产生高视觉对比度；其结果是强化了这些分离式电子器件的可选后续目视检查的质量。进一步优点在于能够完全控制该环氧树脂的消散能力。因此，静电荷可通过选择特定消散能力而以完全受控的方式被完全地或不完全地放电，而不发生该载体的接触表面为导电性致使这些分离式电子器件承受峰值负载的风险。又另一个优点为可简易地加工该环氧树脂，使得用于制造目的的（机加工）生产装置的寿命相对较长，而同时在制造用于这些分离式电子器件的夹持器方面拥有很高的设计自由度。而且，可有效率地生产根据本发明的载体。在实践中，已经发现使该环氧树脂的接触侧边和该金属平台的与之相连的边缘在一表面内彼此连接是有利的，其他的目的在于将载体的污染最小化且不在后续工序中构成阻碍。该平台和该环氧树脂的形式配合联接具有重大意义，因为这样可对该载体作为整体的保形性进行控制。应用该环氧树脂载体结构的另一个优点在于，可由此将这些分离式电子器件受到的来自该载体的摩擦阻力保持得低，这有助于将这些分离式电子器件准确地放置（自我定位）在相对于该载体的所确定的位置处；而高位置准确度对于后续工序是有利的，这一点会很明显。此外，还可由此通过根据本发明的载体来加工非常紧凑的器件。

在本发明的变形中，凹入该平坦金属平台内的空间仅对该平坦金属平台的其中一个平坦侧边是开放的。除了该留为开放的侧边，从而通过该金属平台将该环氧树脂载体结构整体地包封。这种几何结构与该平台内的环氧树脂的形式配合相结合，在环氧树脂与该平台之间产生了非常坚固的联接。因此完全排除这些个体器件之间不希望的相互脱离。