[发明专利]图案形成方法无效
| 申请号： | 201180046659.5 | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103124928A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 梅泽朋一 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/32;G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种图案形成方法，通过热光刻来形成图案，其特征在于：
在基板上形成包含氧杂菁系色素的抗蚀剂层，
在所形成的所述抗蚀剂层上以大于等于1m/s且小于等于30m/s的扫描速度使激光进行扫描，
用以醇为主要成分的显像液使所述激光所扫描的所述抗蚀剂层显像。
2.根据权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，所述扫描速度大于等于3.8m/s且小于等于23m/s。
3.根据权利要求1或2所述的图案形成方法，其特征在于，所述醇为甲醇或乙醇。
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