[发明专利]移载系统

说明书

技术领域

本发明涉及在搬运装置等输送车和上货口等载置台之间移载例如收容半导体元件制造用的各种基板的FOUP（Front Opening Unified Pod：前开式晶圆盒）等物品的移载系统的技术领域。

背景技术

作为这种系统而提出了悬吊输送设备（例如参照专利文献1）。在该设备中，对每个支承台设定了提升用位置调整量及降下用位置调整量。设备的工件机械手，在以悬吊状态使工件（即物品）升降时，相应于工件提升或工件降下的作业，以所设定的位置调整量，来进行处于悬吊状态的工件的位置调整。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-192269号公报

发明内容

发明要解决的课题

通过上述的专利文献1的系统，能够进行在与配设在输送用行走体的行走路径正下方的上货口之间装卸工件的所谓纵向移载。但是，该系统未对应在与相对于输送用行走体（换言之，行走路径）而配设在左右横向的上货口之间装卸工件的所谓横向移载。这是因为，无论怎么驱动专利文献1中的位置调整用横向移动台，都只不过是调整与行走路径正下方的上货口对置的位置调整用横向移动台的左右横向的偏移。

此处，根据本申请发明人的研究或实验的成果或经验，假设在专利文献1的系统中进行横向移载的情况下、位置调整用横向移动台（以下仅称为“横向移动台”）向左右横向中的例如右方向移动，则横向移动台和与其下方连接的升降单元及工件机械手成为向右方向较大地伸出的状态。于是，根据该伸出程度，横向移动台由于升降单元及工件机械手的重量而挠曲，工件机械手及由其抓持的工件向以行走路径为轴的旋转的方向倾斜。尤其，在使工件降下（即载置）时，由于工件的重量而使横向移动台的挠曲变得显著，工件容易较大地倾斜。这样的工件的倾斜，就会对于横向移载时的工件的移载位置而产生偏移。因此，在进行横向移载的情况下，会具有不能够将工件移载到所期望的位置、很有可能使横向移载失败的技术问题。

本发明是鉴于上述的问题而作出的，其课题在于提供一种即使在横向移载时也能够将物品移载到所期望的位置的移载系统。

用于解决课题的方案

为了解决上述的课题，本发明的一观点涉及的移载系统具备：输送车，在沿着设置于顶棚的轨道行走的同时输送物品；以及载置台，设置在比轨道更靠下方并能够将物品载置到该载置台的规定位置。输送车具有能够进行抓持载置台上的物品的抓持动作和将物品载置到所述载置台的载置动作的移载部。移载部能够在输送车和载置台之间以横向移载方式来移载物品。移载系统还具备存储部和控制部。存储部存储以下的（ⅰ）、（ⅱ）的信息。

（ⅰ）表示移载部进行载置动作时的物品的移载位置的载置位置信息

（ⅱ）表示移载部进行抓持动作时的物品的移载位置的抓持位置信息

控制部控制移载部，以便在进行载置动作的情况下、在所存储的载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行抓持动作的情况下、在所存储的抓持位置信息的移载位置进行移载。

本发明的一观点涉及的输送车，例如为输送FOUP的OHT（Overhead Hoist Transfer：高架提升传输装置）等，在与用于在半导体元件制造用的制造装置及储料器的内外进行存取的装载上货口、或设置在输送机上的暂存区等载置台之间，不仅能够以纵向移载方式、还能够以横向移载方式移载物品。此处，相对于在与设置在输送车主体的铅垂方向上的载置台之间移载FOUP的“纵向移载方式”，“横向移载方式”是表示能够沿与轨道的方向正交的横向移动FOUP、在与设置在输送车主体的横向上的载置台之间移载FOUP。即，表示经由使FOUP沿横向移动的工序来进行移载。