[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件

说明书

技术领域

本发明涉及水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件，特别是涉及在Al中添加In、Si及Ti了的水反应性Al复合材料、由该水反应性Al复合材料构成的水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及用该Al喷镀膜覆盖了的成膜室用构成构件。

背景技术

在用于通过溅射法、真空蒸镀法、离子镀敷法、CVD法等形成薄膜的成膜装置中，在该装置内设置的成膜室用构成构件上，不可避免地附着成膜工艺中由成膜材料构成的金属或金属化合物的膜。作为该成膜室用构成构件，例如可以举出用于防止膜在基板以外的真空容器内部附着膜的防粘板、开闭器、为了仅在基板的规定部位进行成膜而使用的掩模、基板运送用托架等。在成膜工艺中，这些构件上也附着与作为目标的薄膜(在基板上应该形成的薄膜)相同组成的膜。这些构件，通常附着膜的除膜后可反复使用。

这些成膜室用构成构件上不可避免地附着的膜，随着成膜工艺的作业时间而变厚。这样的附着膜，由于其内部应力、由反复的热过程引起的应力，从成膜室用构成构件形成颗粒而剥离，附着在基板上，成为膜缺陷的产生原因。因此，对于成膜室用构成构件而言，定期进行以下的循环：在附着膜未剥离的阶段，从成膜装置拆下、清洗而将附着膜除膜，其后进行表面加工，进行再使用。

作为成膜材料，例如，在使用Al、Mo、Ti、Cu、Ag、Au、Pt、Rh、Ru、Ir、Ta、W、Nb、Zr、Re、Ni、Cr、V、Li、Co、Pd、Nd、In及Se等的贵金属、这些金属的合金以及ITO、ZnO、PZT及TiO₂等的氧化物的情况下，要求不提供向基板上的膜的形成、回收在基板以外的构成构件上附着了的金属、同时重复利用构成构件的处理技术的确立。

例如，为了防止在成膜装置中成膜材料向基板以外的装置内壁、各成膜室用构成构件等附着而使用的防粘板的情况下，现状是将成膜时附着了的附着物除膜后再利用。作为该附着物的除膜法，一般进行喷砂法、利用酸或碱的湿式蚀刻法、利用由过氧化氢引起的氢脆性的除膜法，进而利用了电解的除膜法。这种情况下，在实施附着物的除膜处理时，由于防粘板等也不少地溶解而受到损伤，因此再利用次数有限。因此，希望使防粘板等的损伤尽量少的这样的除膜法的开发。

如果在上述喷砂法产生的砂屑中的、另外在酸或碱处理等的药液处理中产生的废液中的除膜了的附着膜的浓度低，则贵金属的回收费用变高，收支不合算。在这样的情况下，现状是作为废弃物处理。

在上述药液处理中，还由于不仅药液本身的费用高，而且用完的药液的处理费用也高，另外，从防止环境污染的方面考虑，也希望尽量减少药液的使用量。进而，由于如果进行如上所述的药液处理，则从防粘板除膜了的成膜材料改性为新的化学物质，因此仅将成膜材料从除膜了的附着物回收进一步追加费用。因此，现状是仅与回收成本相平衡的单独成膜材料作为回收对象。

除了如上所述的附着膜的除膜法以外，已知在具备用由水反应性Al复合材料构成的Al膜被覆了的构成构件的装置内实施成膜工艺，所述Al复合材料具有在水分存在的气氛中能反应而溶解的性质，通过Al膜的反应·溶解而使成膜中附着了的膜除去·分离，从该被除膜了的附着膜回收成膜材料的贵金属的技术(例如参照专利文献1)。该水反应性Al复合材料，由Al或者Al合金和In、Sn、In及Sn的组合、或这些材料的合金构成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2005-256063号公报(权利要求书)

发明内容

发明要解决的课题

本发明的课题在于解决上述的以往技术的问题点，提供在水分存在的气氛中反应而能溶解的添加了In、Si及Ti的Al复合材料、由该Al复合材料构成的Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及用该Al喷镀膜覆盖了的成膜室用构成构件。

本发明的水反应性Al复合材料的特征在于，在Al中，以Al基准计，添加2.0～3.5wt％、优选2.5～3.0wt％的In；0.2～0.5wt％的Si；0.13～0.25wt％、优选0.15～0.25wt％、进一步优选0.17～0.23wt％的Ti而成。

Al复合材料通过具有这样的构成，由这些材料得到的Al喷镀膜，在水分存在的气氛中容易进行反应、产生氢而溶解。