[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件

权利要求书

1.一种水反应性A l复合材料，其特征在于，在Al中，以Al基准计，添加2.0～3.5wt％的In、0.2～0.5wt％的Si、0.13～0.25wt％的Ti而成。

2.一种水反应性Al喷镀膜的制造方法，其特征在于，将在Al中、以Al基准计、添加了2.0～3.5wt％的In、0.2～0.5wt％的Si、0.13～0.25wt％的Ti的材料熔融以使组成均匀，将该熔融材料对基材表面喷镀后使其骤冷凝固，由此进行成膜。

3.一种水反应性Al喷镀膜，其特征在于，由权利要求1所述的水反应性Al复合材料构成。

4.一种成膜装置的成膜室用构成构件，其特征在于，在表面具备由权利要求1所述的水反应性Al复合材料构成的水反应性Al喷镀膜或通过权利要求2所述的方法制造的水反应性Al喷镀膜。

5.如权利要求4所述的成膜室用构成构件，其特征在于，所述构成构件为防粘板、开闭器或掩模。