[发明专利]氟容器

说明书

本发明要求于2010年7月5日提交的欧洲专利申请号10168435.5的权益，出于所有的目的将该申请的全部内容结合在此。

本发明涉及一种用于供应含氟气体的容器，一种用于供应此种气体的方法以及一种使用该容器的半导体制造设备。

除其他之外含分子氟的气体用于半导体行业，例如用于清洗工艺室，例如用于制造平板或制造光伏元件的CVD室。

现已发现了一种容器，这种容器特别适合于对如以上所描述的多种应用或设备提供含分子氟的气体。

因此本发明涉及一种长管拖车(tube trailer)，该长管拖车包含从35vol％至92.5vol％的分子氟。分子氟被包含在一种含其的气体中，术语“气体”与术语“气体混合物”可互换，除非该气体是由100％的F₂的组成的。

在一个优选实施方案中，本发明涉及一种长管拖车，该长管拖车包括至少一个圆柱形空心体，该空心体容纳了该含从35vol％至92.5vol％的分子氟的气体，其中根据本发明的长管拖车的容纳该含分子氟的气体的空间的内部体积是每空心体至少1m³，并且其中被认为与该气体接触的多个部件是由耐分子氟的材料制成的或涂覆有该耐分子氟的材料。

附图简短说明

图1示出了根据本发明的一个长管拖车的侧视图。

图2示出了根据本发明的长管拖车的主视图，该长管拖车具有按矩形安排(4x3)安装在支持框架上的多个管以及安全装置。

图3示出了根据本发明的按矩形安排(4x2)安装在支持框架上的长管拖车的主视图。

图4示出了根据本发明的按三角形安排安装在支持框架上的长管拖车的主视图。

发明的详细说明

已经发现了根据本发明的长管拖车允许在可接受的安全以及毒性条件下特别有效地将具有高效能的氟气体供应到其所打算的用途中，特别是对于介质要求(例如，5至100吨分子氟/年，基于100％的分子氟)。

在根据本发明的长管拖车中，该含分子氟的气体的剩余物总体上由或主要由一种惰性气体组成。

典型地，惰性气体将基本上不与分子氟在环境温度下发生反应。适当的惰性气体的实例是选自：氦气、氖气、氩气、氙气、氮气和NF₃。优选地，该气体的剩余物主要由一种惰性气体组成，优选地，该惰性气体选自：氦气、氖气、氩气、氙气、氮气和NF₃。更优选地，该惰性气体选自：氩气、氮气、以及它们的混合物。在一个特别优选的实施方案中，该惰性气体是氩气。在另一个特别优选的实施方案中，该惰性气体是氮气。

在根据本发明的长管拖车中，该气体经常包含一种分子氟，其量值是等于或大于50vol％，优选地等于或大于80vol％并且更优选地等于或大于85vol％。在根据本发明的长管拖车中，该气体经常包含一种分子氟，其量值是等于或小于92vol％，优选地等于或小于91vol％并且更优选地等于或小于约90vol％。一种优选的长管拖车包含一种含从80vol％至92vol％的氟的气体。一种还更优选的长管拖车包含一种含从85vol％至91vol％的氟的气体。一种尤其优选的长管拖车包含一种含约90vol％的氟的气体。

在一个特别优选的实施方案中，其组成是90％vol的氟以及10％vol的氩。在另一个优选的实施方案中，其组成是90％vol的氟以及10％vol的NF₃。在一个第三优选的实施方案中，其组成是90％vol的氟以及10％vol的N₂。

根据本发明的长管拖车总体上包括至少一个圆柱形的空心体，该空心体具有至少一个用于充气和排气的阀门。该空心体或多个空心体可以适当地安装到一个支持框架上或容纳在一个第二容器中。

根据一个实施方案，该或这些空心体被安装到一个框架上，该框架被安装到一个卡车上，或者该框架被连接到一个车辆上，该车辆包括多个轮子并且被设计为由例如卡车、驾驶台或牵引机进行拉动。通常，这些空心体以及该框架被牢固地连接到这个车辆上。