[发明专利]氟容器

权利要求书

1.一种长管拖车，包含：含35vol％至92.5vol％的分子氟的气体。

2.如权利要求1所述的长管拖车，包括至少一个圆柱形空心体，该空心体容纳该含35vol％至92.5vol％的分子氟的气体，其中根据本发明的长管拖车的容纳该含分子氟的气体的空间的内部体积是每空心体至少1m³，并且其中被认为有待与该气体接触的部件由耐分子氟的材料制成或涂覆有该耐分子氟的材料。

3.根据权利要求1或2所述的长管拖车，其中该气体的余量主要由惰性气体组成，该惰性气体优选地选自：氦气、氖气、氩气、氙气、氮气和NF₃。

4.如权利要求1、2或3所述的长管拖车，其中其部件是由耐氟的材料制成的或涂覆有该耐氟的材料。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的长管拖车，其中其部件是由蒙乃尔合金、不锈钢、铜、或镍制成的。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的长管拖车，包括4至64个空心体，这些空心体具有基本上相同的形状和尺寸。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的长管拖车，还包括安全装置，该安全装置可操作地将惰性气体注入到该长管拖车的容纳气体的部件中。

8.根据权利要求7所述的长管拖车，其中该安全装置包含氮气。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的长管拖车，还包括安全装置，该安全装置可操作地降低空心体中的压力。

10.一种半导体制造设备，具有气体供应系统，其中根据权利要求1至9中任一项所述的长管拖车被连接到该半导体制造设备的气体供应系统上。

11.根据权利要求10所述的半导体制造设备，该半导体制造设备适用于制造光伏元件。

12.根据权利要求10或11所述的半导体制造设备，该半导体制造设备具有的分子氟要求是每年5至100，优选地10至50公吨。

13.一种用于供应气体的方法，该方法包括使用根据权利要求1至12中任一项所述的长管拖车来将气体从气体制造点运输到用户点。

14.根据权利要求13所述的方法，包括：

(a)第一阶段，在该第一阶段过程中使用根据本发明的长管拖车将含分子氟的气体供应到该用户点，以及

(b)第二阶段，其中使用位于该用户点的产生分子氟的装置将含分子氟的气体供应到该用户点。

15.一种根据权利要求1至7中任一项所述的气体混合物。

16.如权利要求15所述的气体混合物，包含35vol％至92.5vol％的分子氟，平衡至100vol％的余量由至少一种选自以下的惰性气体构成：氦气、氖气、氩气、氙气、氮气和NF₃。

17.如权利要求16所述的气体混合物，包含按体积计80％至92％的分子氟，补足至按体积计100％的余量选自至少一种选自氮气和氩气的气体。

18.如权利要求17所述的气体混合物，包含按体积计85％至91％的分子氟，补足至按体积计100％的余量选自至少一种选自氮气和氩气的气体。

19.如权利要求15至18中任一项所述的气体混合物，其中在根据本发明的长管拖车的容纳空间内该含分子氟的气体中分子氟的分压是5至30巴，优选地10至28巴。

20.根据权利要求15至19中任一项所述的气体混合物作为半导体行业中的室清洗气体的用途。